北京北方华创微电子装备有限公司徐珂浩获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利同轴调节装置和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665411U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422868270.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型同轴调节装置和半导体工艺设备是由徐珂浩;郭士选;郭春;郭子煜;张辉;马恩泽设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本同轴调节装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种同轴调节装置和半导体工艺设备，同轴调节装置包括安装座、固定座、第一调节板、第二调节板、第一导轨和第二导轨，其中，固定座具有固定配合面，第一调节板和第二调节板层叠设置在固定配合面上方；第一导轨沿第一水平方向固定第一调节板，且相对于固定配合面运动；第二导轨沿第二水平方向固定，第二调节板能够沿第二导轨相对于第一调节板运动；安装座与第二调节板固定连接，第一水平方向与第二水平方向相交。本实用新型方案能够保证出气盘位置的精确性，并提高半导体工艺设备的维护效率。
本实用新型同轴调节装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种同轴调节装置，用于半导体工艺设备，其特征在于，所述同轴调节装置包括安装座、固定座、第一调节板、第二调节板、第一导轨和第二导轨，其中， 所述固定座具有固定配合面，所述第一调节板和所述第二调节板层叠设置在所述固定配合面上方； 所述第一导轨沿第一水平方向固定所述第一调节板，且相对于所述固定配合面运动； 所述第二导轨沿第二水平方向固定，所述第二调节板能够沿所述第二导轨相对于所述第一调节板运动； 所述安装座与所述第二调节板固定连接，所述第一水平方向与所述第二水平方向相交。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励