大族激光科技产业集团股份有限公司;东莞市汉传科技有限公司深圳分公司刘少凯获国家专利权
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龙图腾网获悉大族激光科技产业集团股份有限公司;东莞市汉传科技有限公司深圳分公司申请的专利晶圆定位机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223665414U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422987209.3,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型晶圆定位机构是由刘少凯;吴子祥;韩留洋;张九玲;邹忠洋设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆定位机构,包括回转移动组件,回转移动组件包括回转底板、回转顶板、丝杠驱动组件、传动块和传动组件,回转顶板转动设于回转底板,传动块设置于丝杠驱动组件的驱动端,传动组件滑动设于传动块上,滑动方向与丝杠驱动组件的驱动方向垂直,同时传动组件还转动连接于回转顶板。定位过程中,丝杠驱动组件用于驱动传动块沿直线移动,并通过传动组件拉动回转顶板进行移动,同时传动组件会在传动块上滑动,使得传动组件与回转顶板保持连接关系,使传动组件随回转顶板一起转动,实现将丝杠转动组件的直线驱动转为对回转顶板的回转驱动,并从源头上减少了晶圆检测过程中干扰磁场的产生,提高晶圆检测的精度。
本实用新型晶圆定位机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆定位机构,其特征在于,包括回转移动组件,所述回转移动组件包括: 回转底板; 丝杠驱动组件; 回转顶板,转动设于所述回转底板; 传动块,传动连接于所述丝杠驱动组件;以及 传动组件,滑动设于所述传动块,且滑动方向与所述丝杠驱动组件的驱动方向垂直,所述传动组件还转动连接于所述回转顶板。
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