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申集半导体科技(徐州)有限公司李中云获国家专利权

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龙图腾网获悉申集半导体科技(徐州)有限公司申请的专利一种清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223665422U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423299364.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种清洗设备是由李中云;王海柱;丁润发设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种清洗设备,包括酸洗装置,用于放置酸洗液和待清洗物料,包括进液口;过滤装置,包括过滤腔,过滤腔内设置有隔板,形成连通于酸洗装置出口的第一腔和用于连通泵送装置的第二腔;隔板上设置有若干滤筒,以连通第一腔和第二腔;过滤腔设有连通第一腔的进液装置以接收自酸洗装置排出物质,设有连通泵送装置和第二腔的抽液装置以向泵送装置输送自第二腔排出物质,以及设有连通第二腔的排液装置;泵送装置,通过进液口连通酸洗装置,以及通过抽液装置连通第二腔,以将第二腔内的酸洗液转移至酸洗装置。本实用新型能能提高酸洗液利用率,减少或避免因料渣随酸洗液进入到泵送装置内而导致泵送装置损坏的问题。

本实用新型一种清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种清洗设备,其特征在于,包括: 酸洗装置100,用于放置酸洗液和待清洗物料,包括进液口111; 过滤装置300,包括过滤腔310,所述过滤腔310内设置有隔板330,以形成连通于所述酸洗装置100出口的第一腔311和用于连通泵送装置200的第二腔312;所述隔板330上设置有若干滤筒340,以连通所述第一腔311和所述第二腔312,用于拦截进入所述第一腔311的固态物质; 所述过滤腔310设有连通所述第一腔311的进液装置313以接收自所述酸洗装置100排出物质,设有连通所述泵送装置200和所述第二腔312的抽液装置314以向所述泵送装置200输送自所述第二腔312排出物质,以及设有连通所述第二腔312的排液装置315; 所述泵送装置200,通过所述进液口111连通所述酸洗装置100,以及通过所述抽液装置314连通所述第二腔312,以将所述第二腔312内的酸洗液转移至所述酸洗装置100。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人申集半导体科技(徐州)有限公司,其通讯地址为:221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路以北华山路以西半导体材料和设备产业园C2号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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