北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司齐钰浩获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种封闭样品载入室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665428U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423045493.9，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种封闭样品载入室是由齐钰浩;刘振兴;董兵;高印博;邱建超;王亿尧;吴旭升设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种封闭样品载入室在说明书摘要公布了：本申请提供一种封闭样品载入室，包括：腔室，所述腔室包括冷却区和容置区，所述冷却区和容置区之间通过至少一个辐射反射板分隔；以及至少一个温控板，所述控温板设置在所述冷却区远离所述辐射反射板的一侧，所述冷却区放置有目标样品时用于吸收所述目标样品的热辐射。本申请提供的封闭样品载入室能够缩短晶圆的冷却时间，提高晶圆的生产效率。
本实用新型一种封闭样品载入室在权利要求书中公布了：1.一种封闭样品载入室，其特征在于，包括： 腔室，所述腔室包括冷却区和容置区，所述冷却区和容置区之间通过至少一个辐射反射板分隔；以及 至少一个温控板，所述温控板设置在所述冷却区远离所述辐射反射板的一侧，所述冷却区放置有目标样品时用于吸收所述目标样品的热辐射。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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