申集半导体科技(徐州)有限公司陈俊章获国家专利权
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龙图腾网获悉申集半导体科技(徐州)有限公司申请的专利半导体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665431U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423299352.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型半导体处理装置是由陈俊章设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体处理装置，包括处理腔体、循环处理管路、监测装置和吹扫抽吸管路；循环处理管路包括循环驱动装置和循环回路，循环回路两端分别与处理腔体连通，循环驱动装置设于循环回路，用于驱动处理腔体中的腔内介质在循环回路中循环；监测装置设置于循环回路中，用于检测腔内介质中被监测物质的含量；吹扫抽吸管路包括吹扫管路和抽吸管路，分别用于向处理腔体内提供吹扫气体和从处理腔体内排出处理腔体内的腔内介质。本实用新型通过设置有监测装置的循环回路，以对处理腔体中的杂质，例如水分和或氧气含量等进行有效监测，避免因对水分和或氧气等监测的不准确问题造成去除处理不达标的问题。
本实用新型半导体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理装置，其特征在于，包括： 处理腔体，所述处理腔体用于放置或转运待处理半导体装置； 循环处理管路，包括循环驱动装置和循环回路，所述循环回路两端分别与所述处理腔体连通，所述循环驱动装置设于所述循环回路，用于驱动所述处理腔体中的腔内介质在所述循环回路中循环； 监测装置，设置于所述循环回路中，用于检测所述腔内介质中被监测物质的含量，以得到对应含量数据，所述被监测物质包括水分和氧气中的至少一种； 吹扫抽吸管路，包括吹扫管路和抽吸管路，所述吹扫管路连通所述处理腔体以向所述处理腔体内提供吹扫气体，所述抽吸管路连通所述循环回路以从所述处理腔体内排出所述处理腔体内的腔内介质，所述抽吸管路设于所述监测装置和所述循环驱动装置之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人申集半导体科技(徐州)有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路以北华山路以西半导体材料和设备产业园C2号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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