北京北方华创微电子装备有限公司王蕾越获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆承载装置和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665434U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423006208.2，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆承载装置和半导体工艺设备是由王蕾越;李东彧;王景远设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆承载装置和半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域，以解决传感器测量信号传输易受干扰的问题。晶圆承载装置包括卡盘，用于承载晶圆；基座组件，设置在卡盘下方，且与卡盘形成容置空间；射频功率组件，设置在容置空间内，用于向卡盘提供射频功率；传感器组件和无线模块，设置在容置空间内，无线模块用于将传感器组件检测到的信号无线传输到基座外部，无线模块的工作频率不同于射频功率组件的工作频率。本实用新型提供的晶圆承载装置可以避免传感器的测量信号传输受到干扰。
本实用新型晶圆承载装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括： 卡盘420，用于承载晶圆； 基座组件410，设置在所述卡盘420下方，且与所述卡盘420形成容置空间； 射频功率组件211，设置在所述容置空间内，用于向所述卡盘420提供射频功率； 传感器组件和无线模块260，设置在所述容置空间内，所述无线模块260用于将所述传感器组件检测到的信号无线传输到所述基座组件410的外部，所述无线模块260的工作频率不同于所述射频功率组件211的工作频率。
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