辛耘企业股份有限公司谢旻谷获国家专利权
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龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利膜片式基板处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665435U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423250301.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型膜片式基板处理装置是由谢旻谷;刘茂林设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本膜片式基板处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种膜片式基板处理装置，其用于承载及加工一圆形基板，且其包含一承载座、一载具及一隔离结构。承载座具有一负压室。载具包含一外框以及设置在外框内的一膜片，膜片的外缘固定在外框，且膜片叠设在承载座上而闭合负压室，膜片具有一工作面且在工作面对应负压室的位置设置有贯穿膜片的多个通孔。隔离结构用于承载所述圆形基板，隔离结构凸出设置在膜片的工作面使所述圆形基板与膜片的工作面间隔配置。
本实用新型膜片式基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种膜片式基板处理装置，用于承载及加工一圆形基板，其特征在于，包含： 一承载座，具有一负压室； 一载具，包含一外框以及设置在该外框内的一膜片，该膜片的外缘固定在该外框，且该膜片叠设在该承载座上而闭合负压室，该膜片具有一工作面且在该工作面对应该负压室的位置设置有贯穿该膜片的多个通孔；及 用于承载所述圆形基板一隔离结构，凸出设置在该膜片的该工作面使所述圆形基板与该膜片的工作面间隔配置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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