苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利兼容2~8寸钢环的旋转吸附载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665436U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269222.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型兼容2~8寸钢环的旋转吸附载台是由赵裕兴;丁雪健设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本兼容2~8寸钢环的旋转吸附载台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种兼容2～8寸钢环的旋转吸附载台，安装在DD马达底板上的旋转DD马达通过DD马达上转接板驱动上方的产品吸附下治具板旋转，在产品吸附下治具板上安装有产品吸附上治具板；第一吸附腔体与第一吸附封板共同构成第一吸附区域，第二吸附腔体与第二吸附封板共同构成第二吸附区域，若干个吸盘共同构成第三吸附区域。本实用新型可兼容2～8寸内的任意形状裸片晶圆，甚至各种方片陶瓷，同时还能兼容8寸晶圆带钢环。
本实用新型兼容2~8寸钢环的旋转吸附载台在权利要求书中公布了：1.兼容2～8寸钢环的旋转吸附载台，从下往上依次包括DD马达底板1、旋转DD马达2、产品吸附下治具板4和产品吸附上治具板5，安装在所述DD马达底板1上的旋转DD马达2通过DD马达上转接板3驱动上方的产品吸附下治具板4旋转，在所述产品吸附下治具板4上安装有产品吸附上治具板5，在所述产品吸附上治具板5的外侧沿着圆周方向均布有若干个吸盘13，所述吸盘13通过吸盘安装架14安装在产品吸附下治具板4上；其特征在于： 在所述产品吸附上治具板5的底面从内至外依次设置有第一吸附腔体22和第二吸附腔体23，在所述产品吸附下治具板4的顶面从内至外依次设置有第一吸附封板24和第二吸附封板25，所述第一吸附腔体22与第一吸附封板24共同构成第一吸附区域，所述第二吸附腔体23与第二吸附封板25共同构成第二吸附区域，若干个所述吸盘13共同构成第三吸附区域。
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