东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司倪进华获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利晶圆支撑装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423262261.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆支撑装置是由倪进华;米涛;许鸿亮设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆支撑装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆支撑装置，所述晶圆支撑装置包括：底座组件、升降座、晶圆装载台、光栅尺和读数头，升降座可升降地设在底座组件上；设置于升降座的上方，且随升降座进行升降；光栅尺沿上下方向延伸，光栅尺安装在底座组件和升降座两者中的其一上；读数头与光栅尺对应设置，读数头安装在底座组件和升降座两者中的另一上；读数头配置成通过读数头与光栅尺的相对位置测量得到升降座的升降高度数据。本实用新型的晶圆支撑装置的晶圆装载台利用读数头与光栅尺测量晶圆装载台的升降高度数据，提高了晶圆装载台晶圆装载台的升降精度。
本实用新型晶圆支撑装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括： 底座组件； 升降座，所述升降座可升降地设在所述底座组件上； 晶圆装载台，设置于所述升降座的上方，且随所述升降座进行升降； 光栅尺，所述光栅尺沿上下方向延伸，所述光栅尺安装在所述底座组件和所述升降座两者中的其一上；和 读数头，所述读数头与所述光栅尺对应设置，所述读数头安装在所述底座组件和所述升降座两者中的另一上；所述读数头配置成通过所述读数头与所述光栅尺的相对位置测量得到所述升降座的升降高度数据。
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