ASM IP 控股有限公司A·伊利贝里获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP 控股有限公司申请的专利金属氧化物在金属表面上的选择性沉积获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111816547B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010267196.6，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权金属氧化物在金属表面上的选择性沉积是由A·伊利贝里;M·吉文斯;S·邓;G·A·维尼设计研发完成，并于2020-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属氧化物在金属表面上的选择性沉积在说明书摘要公布了：提供了相对于氧化物表面在金属或金属性表面上选择性沉积金属氧化物膜的方法。衬底的氧化物表面可相对于金属或金属性表面被选择性地钝化，例如通过将衬底暴露于硅烷化剂。自气相反应物相对于经钝化的氧化物表面在金属或金属性表面上选择性地沉积金属氧化物。
本发明授权金属氧化物在金属表面上的选择性沉积在权利要求书中公布了：1.一种相对于衬底的过渡金属氧化物表面在所述衬底的金属表面上选择性地沉积金属氧化物的方法，其中，所述金属表面是Al、Cu、Co、Ni、W、Nb、Fe或Mo表面，所述方法依次包括： 在所述金属表面上形成钝化阻断层； 相对于所述金属表面选择性地钝化所述过渡金属氧化物表面，其中选择性钝化所述过渡金属氧化物表面包括将过渡金属氧化物表面暴露于硅烷化剂； 从金属表面去除钝化阻断层；以及 自气相反应物相对于经钝化的过渡金属氧化物表面在所述金属表面上选择性地沉积所述金属氧化物， 其中所述气相反应物包括疏水金属反应物，该疏水金属反应物包括一个或多个疏水配体，且 其中所述一个或多个疏水配体中的至少一个包括C。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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