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株式会社迪思科关家一马获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利保护片配设装置和保护片的配设方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113053796B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011492913.1,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权保护片配设装置和保护片的配设方法是由关家一马设计研发完成,并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

保护片配设装置和保护片的配设方法在说明书摘要公布了:本发明提供保护片配设装置和保护片的配设方法,控制保护片对基板的紧贴力而将保护片配设于基板。保护片的配设方法向基板的正面配设保护片,其中,保护片的配设方法具有如下的步骤:基板载置步骤,将基板载置于能够分离成上部壳体和下部壳体且具有支承工作台的减压腔室的支承工作台上;空间分离步骤,使保护片与基板的正面面对而载置从而将减压腔室内的空间分离成第1室和第2室;减压步骤,将第1室减压至规定的气压,并且将第2室减压;保护片紧贴步骤,使减压后的第2室向大气开放,从而使保护片以规定的强度紧贴于基板;以及基板搬出步骤,使减压后的第1室向大气开放,将下部壳体和上部壳体分离,将紧贴有保护片的基板从减压腔室搬出。

本发明授权保护片配设装置和保护片的配设方法在权利要求书中公布了:1.一种保护片配设装置,其向在正面侧具有凹凸的基板的该正面配设保护片,其特征在于, 该保护片配设装置具有: 减压腔室,其能够分离成上部壳体和下部壳体; 支承工作台,其设置于该下部壳体的内部,对该基板进行载置; 第1减压单元,其与该下部壳体连接; 第1大气开放单元,其与该下部壳体连接; 第2减压单元,其与该上部壳体连接;以及 第2大气开放单元,其与该上部壳体连接, 该第1减压单元能够将该减压腔室内的第1室减压至规定的气压,该第1室由向该支承工作台所载置的该基板上配置且被该上部壳体和该下部壳体夹持的该保护片和该下部壳体围合而成, 该第2减压单元能够将该减压腔室内的第2室减压,该第2室由向该支承工作台所载置的该基板上配置且被该上部壳体和该下部壳体夹持的该保护片和该上部壳体围合而成, 该第2大气开放单元能够通过使减压后的该第2室向大气开放而使大气压直接作用于该保护片的整个面,从而将该保护片以规定的强度紧贴于该基板的该正面上, 该第1大气开放单元通过在利用该第2大气开放单元使该第2室向大气开放之后使该第1室向大气开放,从而能够将该减压腔室的该上部壳体与该下部壳体分离,将紧贴于该保护片的该基板从该减压腔室搬出。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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