世界先进积体电路股份有限公司库玛拉奇许获国家专利权
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龙图腾网获悉世界先进积体电路股份有限公司申请的专利压电微机械超声波换能器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113896165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010642684.0,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权压电微机械超声波换能器及其制作方法是由库玛拉奇许;夏佳杰;钱优设计研发完成,并于2020-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电微机械超声波换能器及其制作方法在说明书摘要公布了:一种压电微机械超声波换能器,包括基底、阻挡结构及膜层,其中基底和阻挡结构包括相同的材料。基底包括穿透基底的空腔,阻挡结构会从基底的顶面突出且围绕空腔的边缘。膜层设置于空腔上且附着于阻挡结构。
本发明授权压电微机械超声波换能器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种压电微机械超声波换能器,其特征在于,包括: 一基底,包括穿透所述基底的一空腔; 一阻挡结构,由所述基底蚀刻而成,突出于所述基底的一顶面且围绕所述空腔的一边缘; 一牺牲层,所述牺牲层设置在所述基底的所述顶面上且围绕所述阻挡结构,且所述牺牲层的顶面对齐所述阻挡结构的顶面; 一膜层,设置于所述空腔上且附着于所述阻挡结构;以及 一截断部,穿透所述膜层且环绕部分所述膜层, 其中所述基底和所述阻挡结构包括相同的材料,其材料包括单晶硅、多晶硅、非晶硅、玻璃、或陶瓷材料,且所述阻挡结构沿着所述截断部的周边设置。
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