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江苏汉拓光学材料有限公司傅志伟获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏汉拓光学材料有限公司申请的专利一种化学放大型负性UV光刻胶、制备方法及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114089601B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110608510.7,技术领域涉及:G03F7/038;该发明授权一种化学放大型负性UV光刻胶、制备方法及其使用方法是由傅志伟;冉瑞成;梅崇余;潘新刚;余文卿;刘平;刘军林设计研发完成,并于2021-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种化学放大型负性UV光刻胶、制备方法及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光刻胶技术领域,且公开了一种化学放大型负性UV光刻胶,按质量百分比,所述光刻胶包括以下组分:PHS树脂10‑20%;光致产酸剂0.3‑1.5%;交联剂0.2‑2.0%;流平剂0.01‑0.05%;溶剂余量。本发明中交联剂的添加量为0.55‑0.75%,驻波效应得到改善,交联剂的添加量为0.5%时驻波效应改善最明显,效果最好。本发明配方中交联剂的添加量,即保证得到图形的成膜强度,又减小了交联程度,更能减小显影液浸泡光刻胶侧面由过曝光和欠曝光带来的差异。

本发明授权一种化学放大型负性UV光刻胶、制备方法及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种化学放大型负性UV光刻胶,其特征在于:按质量百分比,所述光刻胶包括以下组分: PHS树脂10-20%; 光致产酸剂0.3-1.5%; 交联剂0.2-0.525%; 流平剂0.01-0.05%; 溶剂余量; 所述交联剂为四甲氧甲基甘脲和六甲氧甲基三聚氰胺中的一种或两种; 所述光致产酸剂包括4,8-二羟基-1-萘基二甲基锍三氟甲磺酸盐PAG2、4,7-二羟基-1-萘基二甲基锍三氟甲磺酸盐PAG3、4-甲氧基萘基二苯基锍三氟甲磺酸盐PAG4,结构如下: 、、; 所述流平剂为3M氟碳表面活性剂FC-4430和特洛伊TroysolS366中的一种或两种。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏汉拓光学材料有限公司,其通讯地址为:221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区软件园E1综合楼12A13;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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