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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种双层热感式宽量程气体微流量计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114166300B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111305322.3，技术领域涉及：G01F1/68；该发明授权一种双层热感式宽量程气体微流量计是由祁佳莉;王瑞金;杜加友;朱泽飞设计研发完成，并于2021-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双层热感式宽量程气体微流量计在说明书摘要公布了：本发明提供一种双层热感式宽量程气体微流量计，由第一晶片、第二晶片、第三晶片依次层叠键合在一起；第一晶片上设有第一进口和第一出口，第一晶片与第二晶片键合一侧设有第一空腔；第二晶片上设有第二进口和第二出口、第一连接触点，与第一晶片键合一侧设有第二空腔，与第三晶片键合一侧设有第三空腔；所述第三晶片上设有第二连接触点，与第二晶片键合一侧设有第四空腔；所述第一空腔和第二空腔构成主流道，所述第三空腔和所述第四空腔构成副流道；本发明采用双层结构以实现输入流体的分流，小流量下读取主流道中第一热感流量传感器的信号，大流量下读取副流道中的第二热感流量传感器的信号，以此达到拓宽量程的目的。

本发明授权一种双层热感式宽量程气体微流量计在权利要求书中公布了：1.一种双层热感式宽量程气体微流量计，由第一晶片、第二晶片、第三晶片依次层叠键合在一起；其特征在于，所述第一晶片的一侧设有第一进口，另一侧设有第一出口，所述第一晶片与第二晶片键合一侧设有第一空腔；所述第二晶片在对应第一进口的一侧设有第二进口，对应第一出口的一侧设有第二出口、在第二进口和第二出口之间设有第一连接触点，与第一晶片键合一侧设有第二空腔，与第三晶片键合一侧设有第三空腔；所述第三晶片上设有第二连接触点，与第二晶片键合一侧设有第四空腔；所述第一空腔和第二空腔构成主流道，所述第三空腔和所述第四空腔构成副流道；所述主流道中设有第一热感流量传感器，横跨第一空腔和第二空腔，所述副流道中设有第二热感流量传感器，横跨第三空腔和第四空腔；所述第一热感流量传感器和第二热感流量传感器中分别设有加热器和在加热器沿气体流动方向的两边对称分布的上游测温器和下游测温器，用于测量不同流速下加热器上下游的温差，并将温差信号转变为电信号后分别通过所述第一连接触点和第二连接触点传出；所述双层热感式宽量程气体微流量计在小流量下读取位于主流道中的第一热感流量传感器的信号，大流量下读取位于副流道中的第二热感流量传感器的信号。

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