深圳鼎晶科技有限公司喻泷获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳鼎晶科技有限公司申请的专利一种可调温的吸附装置及晶圆转移设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114334776B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111547516.4,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种可调温的吸附装置及晶圆转移设备是由喻泷设计研发完成,并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调温的吸附装置及晶圆转移设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种可调温的吸附装置及晶圆转移设备,涉及Micro‑LED晶圆巨量转移技术领域,可调温的吸附装置包括:吸附板以及温度控制装置;所述温度控制装置包括发热管、发热体、温度传感器以及温控器;所述吸附板的上侧面设有吸附平台,所述吸附板的下侧面与所述发热体贴合设置,所述发热管嵌于所述发热体的内部,所述温控器分别与所述发热管以及所述温度传感器连接;所述温度传感器设于所述吸附板。通过所述温控器控制所述发热管进行发热来调节所述吸附板的温度,保证了所述吸附板的上侧面的吸附平台的温度在合适的温度范围内,使得对Micro‑LED晶圆在所述吸附平台上进行转移过程时Micro‑LED晶圆上的黏性材料能够保持在合适的温度范围。
本发明授权一种可调温的吸附装置及晶圆转移设备在权利要求书中公布了:1.一种可调温的吸附装置,其特征在于,包括:吸附板以及温度控制装置;所述温度控制装置包括发热管、发热体、温度传感器以及温控器;所述吸附板的上侧面设有吸附平台,所述吸附板的下侧面与所述发热体贴合设置,所述发热管嵌于所述发热体的内部,所述发热管的分布密度集中在所述发热体的内部中间侧,所述温控器分别与所述发热管以及所述温度传感器连接;所述温度传感器设于所述吸附板;所述可调温的吸附装置用于使得对Micro-LED晶圆在所述吸附平台上进行转移过程时Micro-LED晶圆上的黏性材料能够保持在合适的温度范围从而使Micro-LED晶圆转移后能牢固地黏附在目标工件上。
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