西湖仪器(杭州)技术有限公司刘东立获国家专利权
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龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种超声辅助剥离装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115029785B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210786631.5，技术领域涉及：C30B33/00；该发明授权一种超声辅助剥离装置和方法是由刘东立;刘霄;刘峰江设计研发完成，并于2022-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超声辅助剥离装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超声辅助剥离装置，包括：具有两个对应工作面的拉压固定杆和振幅调节杆，所述两个工作面为相互平行的斜面结构，分别用于与待剥离件的两个端面固定；固定连接在振幅调节杆另一端的超声波换能器；驱动振幅调节杆和拉压固定杆轴向相对移动的驱动机构；所述拉压固定杆和振幅调节杆同轴或者中心轴平行设置。本发明通过设置剥离表面与剥离力方向的倾斜夹角，增加剥离侧向力，同时以超声振荡作为辅助，使激光改质后形成内部改质层晶锭或晶片以更小的力分离。利用本发明能够针对激光加工后的晶锭实现高质量、快速、快捷、简便的晶圆片剥离方式，这在SiC、金刚石等新一代半导体材料的晶圆加工中广阔应用前景。
本发明授权一种超声辅助剥离装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种超声辅助剥离装置，其特征在于，包括： 具有两个对应工作面的拉压固定杆和振幅调节杆，所述两个工作面为相互平行的斜面结构，分别用于与待剥离件的两个端面固定； 固定连接在振幅调节杆另一端的超声波换能器； 驱动振幅调节杆和拉压固定杆轴向相对移动的驱动机构； 所述拉压固定杆和振幅调节杆同轴或者中心轴平行设置； 当振幅调节杆和拉压固定杆竖直设置时，所述两个工作面与水平面的夹角为30°～45°；所述振幅调节杆和拉压固定杆内，沿轴向设置有多个通孔结构； 所述超声波换能器一端连接超声波发生器，另外一端连接振幅调节杆使其在轴向振动，超声波频率为10~30kHz，振幅调节杆振幅范围为5-10μm； 还包括设置在驱动机构与振幅调节杆之间的测力传感器，该测力传感器用于检测振幅调节杆所受压力或拉力，并根据压力值或拉力值大小对驱动机构进行反馈控制。
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