株式会社斯库林集团安武阳介获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115863206B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210882203.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由安武阳介;村元僚设计研发完成，并于2022-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。在向旋转的基板9供给处理液来处理基板9的基板处理装置中，在支承基板9的下支承体21上可分离地载置作为环状构件的上支承体31。上支承体31覆盖基板9的外缘部并且与下支承体21一并旋转。上支承体31包括与基板9的外周以及上支承体31的外周在径向上相对置的环状侧壁部311、和从环状侧壁部311向径向内方扩展且与基板9的上表面的外缘部在上下方向上相对置的环状上部312。环状上部312的开口面积为基板9的面积的12以上。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其向基板供给处理液来处理所述基板，所述基板处理装置的特征在于，具备： 直接或者间接性地将基板支承为水平姿势的支承部； 以沿着上下方向的中心轴为中心使所述支承部旋转的旋转部； 环状构件，其能够与所述支承部分离地载置在所述支承部上，覆盖由所述支承部支承的基板的外缘部并且与所述支承部一并旋转；以及 处理液供给部，其向由所述支承部支承的基板的上表面或者下表面供给处理液， 所述环状构件包括： 与由所述支承部支承的基板的外周以及所述支承部的外周在径向上相对置的环状侧壁部；以及 环状上部，其从所述环状侧壁部向径向内方扩展且与由所述支承部支承的基板的上表面的外缘部在上下方向上相对置，该环状上部的在所述基板的上方的开口面积为所述基板的面积的12以上， 所述环状上部包括： 与由所述支承部支承的基板的上表面的外缘部在上下方向上相对置的下表面；以及 在所述下表面的内周部向下方突出的环状突出部。
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