深圳源明杰科技股份有限公司蒋仟获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳源明杰科技股份有限公司申请的专利固晶设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111508878B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010410033.9,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权固晶设备是由蒋仟;单佳伟;黎理明;黎理杰设计研发完成,并于2020-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本固晶设备在说明书摘要公布了:本发明公开一种固晶设备,其中,所述固晶设备包括机架和多个贴片机构;多个所述贴片机构并列间隔设于所述机架;每一所述贴片机构包括晶圆盘、顶针及顶针;晶圆盘可活动地连接于所述机架,晶圆盘用于粘接晶圆;顶针可活动地连接于所述机架,所述顶针位于所述晶圆盘的上方,并与所述晶圆盘间隔设置;定位件设于所述机架,并位于所述顶针背向所述晶圆盘的一侧,所述定位件具有贴片位置,所述定位件用于放置贴片基材;所述晶圆盘移动至所述定位件的所述贴片位置上方时,所述定位件放置有所述贴片基材,且所述顶针带动所述晶圆盘的晶圆下降,以使晶圆与所述贴片基材抵接。本发明技术方案提高生产效率。
本发明授权固晶设备在权利要求书中公布了:1.一种固晶设备,其特征在于,所述固晶设备包括: 机架;和 多个贴片机构,多个所述贴片机构并列间隔设于所述机架; 每一所述贴片机构包括: 晶圆盘,可活动地连接于所述机架,所述晶圆盘用于粘接晶圆; 顶针,可活动地连接于所述机架,所述顶针位于所述晶圆盘的上方,并与所述晶圆盘间隔设置;及 定位件,设于所述机架,并位于所述顶针背向所述晶圆盘的一侧,所述定位件具有贴片位置,所述定位件用于放置贴片基材; 所述晶圆盘移动至所述贴片位置上方时,且所述顶针带动所述晶圆盘的晶圆下降,以使晶圆与贴片基材抵接; 所述贴片机构还包括第一驱动组件、水平板及竖直板;所述水平板可滑动地连接于所述机架,所述竖直板可滑动地连接于所述水平板背向所述机架的一侧,所述晶圆盘可拆卸地连接于所述竖直板背向所述水平板的一面; 所述固晶设备还包括与所述顶针周缘连接的防撞机构,所述水平板和所述竖直板均设有过孔,所述防撞机构与所述过孔的边缘间隔设置,所述防撞机构用于预先与所述过孔的孔壁触碰。
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