ASM IP私人控股有限公司A.金蒂获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利用于喷淋头的冲洗固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113493905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110359919.X，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于喷淋头的冲洗固定装置是由A.金蒂设计研发完成，并于2021-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于喷淋头的冲洗固定装置在说明书摘要公布了：本公开涉及用于冲洗喷淋头组件的冲洗固定装置的实施例。冲洗固定装置包括两个不同的腔：内腔和环绕内腔并且不流体地连接到内腔的外腔。当冲洗固定装置安装到喷淋头时，内部孔口与内腔流体连接，并且一个或多个排放孔与外腔流体连接。分开地接近内部孔口和一个或多个排放孔允许适当地冲洗冲洗头。
本发明授权用于喷淋头的冲洗固定装置在权利要求书中公布了：1.一种用于冲洗半导体处理装置的喷淋头组件的部件的冲洗固定装置，包括： 固定装置本体，所述固定装置本体构造成安装到所述喷淋头组件的部件，所述固定装置本体具有由上表面外边缘限定的上表面、由下表面外边缘限定的下表面，其中所述下表面与所述上表面相对、以及连接并跨在所述上表面外边缘和下表面外边缘之间的外侧表面，所述固定装置本体包括： 内腔，所述内腔暴露在所述固定装置本体的所述下表面处； 外腔，所述外腔暴露在所述固定装置本体的所述下表面处，并且由分隔件与所述内腔分离； 与所述内腔流体连通的一个或多个内部通道，所述一个或多个内部通道从所述内腔延伸到所述上表面；以及 与所述外腔流体连通的一个或多个外部通道，所述一个或多个外部通道从所述外腔延伸到所述上表面。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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