浙江理工大学楼益民获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江理工大学申请的专利一种多参量调谐的全息打印光刻系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114911149B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210481399.4,技术领域涉及:G03H1/04;该发明授权一种多参量调谐的全息打印光刻系统是由楼益民;吴锋民;胡娟梅设计研发完成,并于2022-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多参量调谐的全息打印光刻系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多参量调谐的全息打印光刻系统,包括:照明子系统,用于发出光线;照明子系统连接有显示与成像子系统,用于形成光斑;显示与成像子系统连接有运动子系统和控制子系统,用于调整参量;结合了计算全息图打印技术和全息体视图打印技术的优势,可以实现拥有复杂波前调制能力的体全息器件的制作,能够调整参考光和物光的夹角,能够调整参考光的照明模式,适应再现时非准直的复杂照明光场的应用需求。
本发明授权一种多参量调谐的全息打印光刻系统在权利要求书中公布了:1.一种多参量调谐的全息打印光刻系统,其特征在于,包括:照明子系统,用于发出光线;照明子系统连接有显示与成像子系统,用于形成光斑;显示与成像子系统连接有运动子系统和控制子系统,用于调整参量; 显示与成像子系统包括参考光形成光路和物光形成光路,参考光形成光路至少包括反射镜和扫描振镜,反射镜连接扫描振镜,扫描振镜连接有扫描透镜,扫描透镜经合束棱镜连接有傅立叶变换透镜,参考光经反射镜、扫描振镜和合束棱镜,在傅里叶变换透镜的输出面上形成参考光斑;物光形成光路至少包括合束棱镜,合束棱镜连接有空间光调制器,空间光调制器连接有傅里叶变换透镜,物光经合束棱镜和空间光调制器,进入傅里叶变换透镜,在傅里叶变换透镜的输出面上形成物光光斑,参考光形成光路和物光形成光路通过所述合束棱镜形成一套双通道共轴傅立叶变换光路,参考光斑和物光光斑重合; 运动子系统包括:驱动扫描振镜振动的电机与平移台,平移台,与显示与成像子系统连接,用于改变成像位置; 控制子系统协调控制照明子系统的开关、空间光调制器的刷新、扫描振镜和平移台的运动,使得各个部件按照设定的时序运行;通过综合调制扫描振镜θ,Φ两个维度、平移台x,y两个维度和空间光调制器的刷新实现任意参考光模式; 显示与成像子系统还包括微缩成像光路,微缩成像光路包括自动聚焦光路和实时检测光路。
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