盛吉盛半导体技术(上海)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司黄中山获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛半导体技术(上海)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种半导体设备传送装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115036247B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210766837.1,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种半导体设备传送装置是由黄中山;唐俊设计研发完成,并于2022-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备传送装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体设备传送装置,包括晶圆片传送承载平台,所述晶圆片传送承载平台上活动插设有多个底端边缘均呈环形倾斜状设置的陶瓷件,此半导体设备传送装置,区别于现有技术,利用调节机构,能够对陶瓷件凸点的伸出长度进行调节,以满足不同生产情况的使用需求,适用范围广,其次,利用卡紧机构,能够根据不同的生产情况,对多个陶瓷件及其上的陶瓷件凸点的进行拆装于晶圆片传送承载平台之上,从而能够在部分生产情况下,无需更换新的晶圆片传送承载平台来满足产品的生产需求,继而保证不会造成颗粒数量异常导致制程缺陷的问题,使用较为方便。
本发明授权一种半导体设备传送装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体设备传送装置,包括晶圆片传送承载平台1,其特征在于:所述晶圆片传送承载平台1上活动插设有多个底端边缘均呈环形倾斜状设置的陶瓷件2,晶圆片传送承载平台1上均开设有与陶瓷件2相配合的插腔4,陶瓷件2的内部均滑动连接有陶瓷件凸点21,陶瓷件2的内部均开设有与陶瓷件凸点21相配合的伸缩腔,陶瓷件凸点21均与对应的陶瓷件2之间安装有调节机构3,陶瓷件2均与晶圆片传送承载平台1之间安装有卡紧机构5; 所述陶瓷件凸点21的一侧壁上均固定有滑块一22,伸缩腔的一侧壁上开设有与对应的滑块一22相配合的滑槽一,陶瓷件凸点21的底端均与对应的伸缩腔内底壁之间连接有弹簧一23; 所述调节机构3包括滑动连接在对应的伸缩腔内的移动杆301,移动杆301的两端均固定有滑块二302; 所述移动杆301上朝向所述陶瓷件凸点21的一侧壁上固定有多个等距设置的三角块303,陶瓷件凸点21的一侧壁上固定有与多个三角块303相配合的梯形块306,陶瓷件2上螺旋连接有手拧螺钉305,手拧螺钉305的一端抵触在移动杆301的一侧壁上; 所述卡紧机构5包括滑动连接在晶圆片传送承载平台1内的卡块501,卡块501的一端呈倾斜状设置,晶圆片传送承载平台1的内部开设有与卡块501相配合的活动腔,卡块501的另一端与活动腔的一侧内壁之间连接有弹簧三503,陶瓷件2的一侧壁上开设有与卡块501相配合的卡槽。
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