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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司申请的专利硅片湿法处理方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115148634B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210750216.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权硅片湿法处理方法及系统是由李胜利;李阳柏;张杰;江晓钰;朱智超设计研发完成，并于2022-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片湿法处理方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种硅片湿法处理方法及系统，所述硅片湿法处理系统，包括：厂务系统包括指令接收模块和药液配制模块，所述指令接收模块连接控制终端以接收所述控制终端发送的指令，所述药液配制模块用于根据所述指令按照比例配制初始药液；所述厂务系统连通自激活系统，所述自激活系统连通晶圆处理单元；所述自激活系统用于根据所述初始药液生成激活药液，所述激活药液为含有活性成分的药液；所述激活药液通过所述第一自激活系统出口端流入所述晶圆处理单元，所述晶圆处理单元用于对晶圆产品进行加工。本发明所提供的硅片湿法处理方法及系统，可实现药液的自激活，不会占用设备的生产产能，提高了设备的有效利用率。

本发明授权硅片湿法处理方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种硅片湿法处理系统，其特征在于，包括：厂务系统、自激活系统； 所述厂务系统包括指令接收模块和药液配制模块，所述指令接收模块连接控制终端以接收所述控制终端发送的指令，所述药液配制模块用于根据所述指令按照比例配制初始药液； 所述厂务系统的第一厂务系统出口端连通所述自激活系统的第一自激活系统进口端，所述自激活系统的第一自激活系统出口端连通晶圆处理单元； 所述初始药液通过所述第一厂务系统出口端流入所述自激活系统，所述自激活系统用于根据所述初始药液生成激活药液，所述激活药液为含有活性成分的药液； 所述激活药液通过所述第一自激活系统出口端流入所述晶圆处理单元，所述晶圆处理单元用于对晶圆产品进行加工； 所述硅片湿法处理系统还包括：第一管路、药液循环槽、储液槽； 所述第一管路连通所述厂务系统的第二厂务系统出口端和第二自激活系统进口端，所述第一自激活系统出口端连通所述储液槽的第一储液槽进口端，所述储液槽的第一储液槽出口端连通所述药液循环槽的第一药液循环槽进口端； 所述自激活系统的第二自激活系统出口端连通所述药液循环槽的第四药液循环槽进口端； 所述第一厂务系统出口端连通所述药液循环槽的第二药液循环槽进口端，所述药液循环槽的第一药液循环槽出口端连通所述第一自激活系统进口端； 所述第一管路中包括氮气，所述第一管路中的氮气用于将所述自激活系统里的所述激活药液通过第一所述自激活系统出口端排入所述储液槽。

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