日本碍子株式会社赤尾隆嘉获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利陶瓷加热器及其制法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115152321B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180007497.8,技术领域涉及:H05B3/12;该发明授权陶瓷加热器及其制法是由赤尾隆嘉;平田夏树设计研发完成,并于2021-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本陶瓷加热器及其制法在说明书摘要公布了:静电卡盘加热器在陶瓷基板12的内部具备电阻发热体16。在电阻发热体16的表面沿着电阻发热体16的长度方向设置有凹沟17。凹沟17的侧壁面17a相对于陶瓷基板12的表面进行倾斜。在凹沟17的侧壁面17a与陶瓷基板12之间不存在空隙。
本发明授权陶瓷加热器及其制法在权利要求书中公布了:1.一种陶瓷加热器的制法,其特征在于,包括以下工序: a在第一陶瓷烧成层或未烧成层的表面形成规定图案的电阻发热体或其前驱体; b对所述电阻发热体或其前驱体照射激光,沿着所述电阻发热体或其前驱体的长度方向形成凹沟; c在所述第一陶瓷烧成层或未烧成层的表面按将所述电阻发热体或其前驱体覆盖的方式配置第二陶瓷未烧成层,得到层叠体; d对所述层叠体进行热压烧成,由此得到在陶瓷基板的内部植入有所述电阻发热体的陶瓷加热器, 所述工序b中,按所述凹沟的侧壁面相对于所述第一陶瓷烧成层或未烧成层的表面进行倾斜且所述凹沟的侧壁面相对于所述第一陶瓷烧成层或未烧成层的表面的倾斜角度为45°以下的方式形成所述凹沟。
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