北京七星华创流量计有限公司随辰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京七星华创流量计有限公司申请的专利一种压力传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115265846B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210898934.6，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权一种压力传感器及其制造方法是由随辰;栗晓;张锋;牟昌华;赵迪;胡蕾;张海洋;李召兴;王圻;杨庆利;彭振;阮向娟设计研发完成，并于2022-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压力传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种压力传感器及其制造方法，涉及半导体制造领域，绝缘介质层靠近动膜一侧设置了第一电极，第一电极与动膜构成第一检测电容。由于第一电极的面积大于第二电极的面积和第三电极的面积，第一检测电容的电容量大于第二检测电容和第三检测电容，没有非压力因素干扰时，通过第一检测电容测量数据计算被测环境的压力可提高产品精度。绝缘介质层与固定基板之间同层设置了第二电极和第三电极，第二电极和第三电极分别与动膜构成第二检测电容和第三检测电容。根据第二检测电容和第三检测电容的电容量可消除非压力因素引起的信号干扰，进而结合第一检测电容的电容量获得精度更高的测量结果，提高了产品精度。
本发明授权一种压力传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种压力传感器，其特征在于，包括壳体、动膜和定电极组件，所述壳体内具有安装腔，所述动膜与所述安装腔的内侧壁密封连接，将所述安装腔分隔为检测腔和参考腔，所述动膜上设有动电极，所述定电极组件设置在所述参考腔中，所述定电极组件包括固定基板、绝缘介质层、第一电极、第二电极和第三电极，其中， 所述绝缘介质层设置于所述固定基板靠近所述动膜一侧； 所述第一电极设置于所述绝缘介质层靠近所述动膜的一侧，用于与所述动膜配合，以获得第一检测电容；所述第二电极和所述第三电极相互绝缘且同层设置于所述绝缘介质层与所述固定基板之间，分别用于与所述动膜分别配合，以获得第二检测电容和第三检测电容；所述第一电极的面积大于所述第二电极的面积和所述第三电极的面积。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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