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珠海市创智芯科技有限公司王亚军获国家专利权

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龙图腾网获悉珠海市创智芯科技有限公司申请的专利一种微盲孔填充的电镀铜溶液获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115369460B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211168091.0,技术领域涉及:C25D3/38;该发明授权一种微盲孔填充的电镀铜溶液是由王亚军;洪学平;李云华;王江锋设计研发完成,并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种微盲孔填充的电镀铜溶液在说明书摘要公布了:本发明公开了一种微盲孔填充的电镀铜溶液,该电镀铜溶液包括以下质量浓度组分:硫酸铜50‑90gL、浓硫酸200gL、氯离子50‑70ppm、复合加速剂20‑80ppm、复合润湿剂20‑80ppm、复合整平剂10‑40ppm、成核剂10‑40ppm,余量去离子水。本发明提供的一种微盲孔填充的电镀铜溶液,可以实现对细微、高厚径比盲孔的高效电镀填孔,通过直流电镀即可完成填孔工艺,具有成本低廉,填孔效率高,设备要求低等优势。

本发明授权一种微盲孔填充的电镀铜溶液在权利要求书中公布了:1.一种微盲孔填充的电镀铜溶液,其特征在于,该电镀铜溶液包括以下质量浓度组分:硫酸铜50-90gL、浓硫酸200gL、氯离子50-70ppm、复合加速剂20-80ppm、复合润湿剂20-80ppm、复合整平剂10-40ppm、成核剂10-40ppm,余量为去离子水,所述氯离子由浓盐酸提供; 所述复合加速剂为苯基二硫丙烷磺酸钠、巯基咪唑丙磺酸钠、二甲基-二硫甲酰胺磺酸钠组成的混合物,其在使用时的质量浓度比为1:1:2,苯基二硫丙烷磺酸钠为5-20ppm,巯基咪唑丙磺酸钠为5-20ppm,二甲基-二硫甲酰胺磺酸钠为10-40ppm;所述复合润湿剂为辛癸醇聚氧乙烯醚和癸炔二醇聚醚,其在使用时的质量浓度比为1:4,辛癸醇聚氧乙烯醚为4-16ppm,癸炔二醇聚醚为16-64ppm;所述复合整平剂为聚乙二醇、聚丙二醇、聚乙烯吡咯烷酮复合物,其在使用时的质量浓度比为1:1:3,聚乙二醇为2-8ppm,聚丙二醇为2-8ppm,聚乙烯吡咯烷酮为6-24ppm;所述成核剂为5-氟尿嘧啶。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海市创智芯科技有限公司,其通讯地址为:519050 广东省珠海市金湾区高栏港经济区高栏港大道2001口岸大楼308-4(集中办公区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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