瑞声开泰科技(武汉)有限公司严世涛获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞声开泰科技(武汉)有限公司申请的专利电容式微机械加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115453146B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211163971.9，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权电容式微机械加速度计是由严世涛;占瞻;杨珊;马昭;阚枭;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉设计研发完成，并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本电容式微机械加速度计在说明书摘要公布了：本发明提供了电容式微机械加速度计。电容式微机械加速度计包括具有锚点的基底、设置于基底的一侧且弹性连接于锚点的至少一检测结构对以及和检测结构对间隔设置的检测电极，检测结构对包括分别弹性连接于基底的两个跷跷板结构，跷跷板结构相对于其锚点所在转轴非对称，两个跷跷板结构的非对称部分反向且平行；在检测模态时，两个跷跷板结构分别和检测电极形成的间隔的间距大小变化方向相反。本方案的加速度计受到旋转角加速度噪声影响时，两个跷跷板结构会以对应的锚点为转轴在相同方向旋转倾斜，引起差分电容的共模变化而将影响抵消，从而降低外界转动角加速度噪声或者应力等外界因素对加速度计检测的影响，提升检测精度。
本发明授权电容式微机械加速度计在权利要求书中公布了：1.一种电容式微机械加速度计，其特征在于，包括具有锚点的基底、设置于所述基底的一侧且弹性连接于所述锚点的至少一检测结构对以及和所述检测结构对间隔设置的检测电极，所述检测结构对包括分别弹性连接于所述基底的两个跷跷板结构，所述跷跷板结构相对于其锚点所在转轴非对称，所述两个跷跷板结构的非对称部分反向且平行；在检测模态时，所述两个跷跷板结构分别和所述检测电极形成的间隔的间距大小变化方向相反； 其中，两个跷跷板结构用于分别接入相反的载波驱动信号；加速度检测结果通过分析所述两个跷跷板结构和所述检测电极之间的差分电容变化以及所述载波驱动信号得到； 所述检测电极包括至少一面外电极，一所述检测结构对的两个跷跷板结构的板面共用同一面外电极并分别与同一面外电极间隔形成面外检测电容。
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