环球晶圆股份有限公司吕建兴获国家专利权
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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458469B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210393816.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备是由吕建兴;林钦山;蔡佳琪设计研发完成，并于2022-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆治具结构及引起高温潜变变形的晶圆处理设备，可通过较低温的退火处理，有效地改进晶圆的几何翘曲。晶圆治具结构包括第一治具、第二治具及施力组件。第一治具具有第一斜面，第二治具具有第二斜面。当第一及第二治具相互靠合而将晶圆夹置于第一与第二斜面之间时，第一及第二斜面相互平行并倾斜于施压方向，且第一及第二治具通过沿施压方向施加的外力而对晶圆施压。施力组件适于连接于第一治具及第二治具，并施加外力于第一及第二治具。施力组件包括第一、第二及第三螺合件，第一治具适于连接于第一螺合件，第三螺合件适于螺合于第一螺合件，第二螺合件适于螺合于第三螺合件，外力由第一、第二及第三螺合件而产生。
本发明授权晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆治具结构，其特征在于，包括： 第一治具，具有第一斜面； 第二治具，具有第二斜面，其中所述第一治具及所述第二治具相互靠合而使所述第一斜面朝向所述第二斜面；以及 施力组件，连接于所述第一治具及所述第二治具，其中所述施力组件包括第一螺合件、第二螺合件及第三螺合件，所述第一治具连接于所述第一螺合件，所述第三螺合件螺合于所述第一螺合件，所述第二螺合件螺合于所述第三螺合件以使所述第一治具及所述第二治具位于所述第一螺合件及所述第二螺合件之间。
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