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深圳基本半导体有限公司和巍巍获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳基本半导体有限公司申请的专利一种SGT-MOSFET元胞及其制造方法和一种电子装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115458599B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210878815.4,技术领域涉及:H10D30/63;该发明授权一种SGT-MOSFET元胞及其制造方法和一种电子装置是由和巍巍;李学会设计研发完成,并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种SGT-MOSFET元胞及其制造方法和一种电子装置在说明书摘要公布了:一种SGT‑MOSFET元胞,包括依次生成的N型衬底1、N‑外延层2、沟槽场氧化层3、第一隔离氧化层4A、第二隔离氧化层4B、栅氧化层5、第一屏蔽栅6A、第二屏蔽栅6B、P阱7、N+源区8、介质层9、背面金属10、控制栅11、沟槽12、正面金属13、接触孔14;第一屏蔽栅6A的导电多晶硅用于接源极电位,第二屏蔽栅6B导电多晶硅浮空;从而能够在使用时抬高沟槽12中部第一屏蔽栅6A拐角处电场,同时降低第二屏蔽栅6B拐角处即整个沟槽12底部的电场,使得漂移区纵向电场分布远离波浪形分布而接近矩形,优化电场分布,提高器件的击穿电压。

本发明授权一种SGT-MOSFET元胞及其制造方法和一种电子装置在权利要求书中公布了:1.一种SGT-MOSFET元胞,其特征在于,包括依次生成的N型衬底1、N-外延层2、沟槽场氧化层3、第一隔离氧化层4A、第二隔离氧化层4B、栅氧化层5、第一屏蔽栅6A、第二屏蔽栅6B、P阱7、N+源区8、介质层9、背面金属10、控制栅11、沟槽12、正面金属13、接触孔14;第一屏蔽栅6A的导电多晶硅用于接源极电位,第二屏蔽栅6B导电多晶硅浮空;从而能够在使用时抬高沟槽12中部第一屏蔽栅6A拐角处电场,同时降低第二屏蔽栅6B拐角处即整个沟槽12底部的电场,使得漂移区纵向电场分布远离波浪形分布而接近矩形,优化电场分布,提高器件的击穿电压;所述控制栅11是N型控制栅,所述第一屏蔽栅6A与N型控制栅之间的第一隔离氧化层4A厚度大于第一屏蔽栅6A与第二屏蔽栅6B之间的第二隔离氧化层4B厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳基本半导体有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区B栋201;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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