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SKC索密思株式会社尹晟勋获国家专利权

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龙图腾网获悉SKC索密思株式会社申请的专利抛光垫及使用其的半导体器件的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115555986B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210769545.3,技术领域涉及:B24B37/20;该发明授权抛光垫及使用其的半导体器件的制备方法是由尹晟勋;徐章源;许惠暎;尹钟旭;安宰仁设计研发完成,并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

抛光垫及使用其的半导体器件的制备方法在说明书摘要公布了:提供一种抛光垫及使用其的半导体器件的制备方法,抛光垫具有能够最大化漏水防止效果的结构特性,包括:抛光层,包括作为抛光面的第一面和作为其背面的第二面,且包括从第一面贯穿至第二面的第一通孔,窗,设置在第一通孔内,和支撑层,设置在抛光层的第二面侧,包括抛光层侧的第三面和作为其背面的第四面,且包括从第三面贯穿至第四面且与第一通孔连接的第二通孔;所述第二通孔小于所述第一通孔,所述窗的最下端面由所述第三面支撑,在所述窗的最下端面和所述第三面之间包括第一粘合层;在所述第二面与所述第三面之间和所述窗的最下端面与所述第三面之间包括第二粘合层;所述支撑层在与所述窗的最下端面对应的区域包括压缩部。

本发明授权抛光垫及使用其的半导体器件的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种抛光垫,其中,包括: 抛光层,包括作为抛光面的第一面和作为其背面的第二面,并且包括从所述第一面贯穿至所述第二面的第一通孔, 窗,设置在所述第一通孔内,以及 支撑层,设置在所述抛光层的所述第二面侧,包括所述抛光层侧的第三面和作为其背面的第四面,并且包括从所述第三面贯穿至所述第四面且与所述第一通孔连接的第二通孔; 所述第二通孔小于所述第一通孔, 所述窗的最下端面由所述第三面支撑, 在所述窗的最下端面和所述第三面之间包括第一粘合层; 在所述第二面与所述第三面之间以及在所述窗的最下端面与所述第三面之间包括第二粘合层; 所述第一粘合层和所述第二粘合层从所述窗的最下端面朝向所述第三面的方向依次设置, 所述第一粘合层包括湿固化树脂, 所述支撑层在与所述窗的最下端面对应的区域包括压缩部, 所述压缩部是从所述第四面侧加压而一体形成的连续压缩区域,使得包括所有与所述窗的最下端面对应的部分, 所述压缩部不包括在形成过程中加压方向不同的两个以上的压缩区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人SKC索密思株式会社,其通讯地址为:韩国京畿道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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