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龙图腾网获悉精工爱普生株式会社申请的专利物理量传感器、物理量传感器装置及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115683207B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210885810.4，技术领域涉及：G01D21/02；该发明授权物理量传感器、物理量传感器装置及其制造方法是由佐藤健太设计研发完成，并于2022-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本物理量传感器、物理量传感器装置及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了温度特性以及老化特性优异的物理量传感器、物理量传感器装置及其制造方法。物理量传感器10包括：基部20；第一臂部31、第二臂部32以及第三臂部33，连结于基部20，并分别设置有固定部80；可动部40，在俯视观察时配置于第一臂部31与第二臂部32之间以及第一臂部31与第三臂部33之间；缩窄部50，配置于基部20与可动部40之间，且连接基部20与可动部40；以及物理量检测元件60，在所述俯视观察时跨越缩窄部50而配置，且安装于基部20和可动部40，在第二臂部32以及第三臂部33中的至少一方中，在至少两个部位形成有薄壁部85、86。

本发明授权物理量传感器、物理量传感器装置及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种物理量传感器，其特征在于，包括： 基部； 第一臂部、第二臂部以及第三臂部，所述第一臂部、第二臂部以及第三臂部连结于所述基部，并分别设置有固定部； 可动部，在俯视观察时配置于所述第一臂部与所述第二臂部之间以及所述第一臂部与所述第三臂部之间； 缩窄部，配置于所述基部与所述可动部之间，且连接所述基部与所述可动部；以及 物理量检测元件，在所述俯视观察时，跨越所述缩窄部而配置，且安装于所述基部和所述可动部， 在将由所述基部的X方向及Y方向规定的平面作为水平面，并将与所述X方向及所述Y方向正交的方向作为Z方向的情况下， 在所述基部的所述X方向的一端，所述第一臂部沿着所述Y方向的正侧延伸而配置， 在所述基部的所述X方向的所述一端的相反端，所述第二臂部沿着所述Y方向的正侧延伸而配置， 在所述基部的所述X方向的所述一端的相反端，所述第三臂部沿着所述Y方向的负侧延伸而配置， 在从所述Z方向进行所述俯视观察时，在所述第二臂部以及所述第三臂部中，在所述基部与所述固定部之间的至少三个部位形成有薄壁部， 所述薄壁部是在所述第二臂部及所述第三臂部的所述Z方向上比其他部分薄的部分。

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