株式会社斯库林集团山本滋获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692255B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210898031.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理方法以及基板处理装置是由山本滋;岩田敬次;藤井大树;枝光建治;川井侑哉;伊藤健一设计研发完成，并于2022-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法以及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理方法以及基板处理装置。基板处理方法包括第一减压工序、第一加压工序以及第一常压工序。在第一减压工序中，腔室3的内部处于经减压的状态D，将第一气体G1供给至腔室3内的基板W。第一气体G1包含有机溶剂。第一加压工序是在第一减压工序之后执行。在第一加压工序中，将混合气体K供给至腔室3内的基板W，腔室3的内部从经减压的状态D被加压至常压状态J。混合气体K包含有机溶剂与惰性气体。第一常压工序是在第一加压工序之后执行。在第一常压工序中，腔室3的内部保持为常压状态J，进行排液处理以及基板处理中的至少任一种。
本发明授权基板处理方法以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，一次处理收容在一个腔室内的多个基板，所述基板处理方法包括： 第一减压工序，在所述腔室的内部经减压的状态下，将包含有机溶剂的第一气体供给至所述腔室内的所述基板； 第一加压工序，在所述第一减压工序之后，将包含有机溶剂与惰性气体的混合气体供给至所述腔室内的所述基板，且混合气体中的惰性气体将所述腔室的内部从经减压的状态加压至常压状态；以及 第一常压工序，在所述第一加压工序之后，将所述腔室的内部保持为常压状态，且进行排液处理以及基板处理中的至少任一种。
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