长鑫存储技术有限公司朱凌峰获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利老化时间的确定方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115774175B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111048155.9,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权老化时间的确定方法和装置是由朱凌峰设计研发完成,并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本老化时间的确定方法和装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种老化时间的确定方法和装置,通过将晶圆中的每个晶圆颗粒划分为多个测试单元,扩大了样本容量,通过将测试时间划分为多个时间段,在每个时间段的老化实验结束后,获取测试单元的测试结果,根据已测试时间段的测试结果,确定测试单元在当前时间的失效分布模型,当前时间为最后一个已测试时间段的结束时间,根据当前时间的失效分布模型确定失效分布模型对应的预测老化时间,如果预测老化时间不小于当前时间,则进入下一个时间段进行老化测试,如果预测老化时间小于当前时间,则确定失效分布模型对应的预测老化时间为最终老化时间。通过失效分布模型确定的预测老化时间更加准确,避免了过度老化和老化不足的问题。
本发明授权老化时间的确定方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种老化时间的确定方法,其特征在于,包括: 将晶圆中的每个晶圆颗粒划分为多个测试单元,所述晶圆包括多个晶圆颗粒; 将测试时间划分为多个时间段,在每个时间段的老化实验结束后,获取所述测试单元的测试结果,所述测试结果为通过或者失效,所述测试时间为所述晶圆的老化实验的总时长; 根据已测试时间段的测试结果,确定所述测试单元在当前时间的失效分布模型; 根据所述当前时间的失效分布模型确定所述失效分布模型对应的预测老化时间; 如果所述失效分布模型对应的预测老化时间不小于所述当前时间,则进入下一个时间段进行老化测试; 如果所述失效分布模型对应的预测老化时间小于所述当前时间,则确定所述失效分布模型对应的预测老化时间为最终老化时间。
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