长鑫存储技术有限公司朱凌峰获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利老化试验条件的确定方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115774179B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111048839.9,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权老化试验条件的确定方法和装置是由朱凌峰设计研发完成,并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本老化试验条件的确定方法和装置在说明书摘要公布了:该发明提出了一种老化试验条件的确定方法和装置,所述确定方法包括:提供待测晶圆,将待测晶圆划分为多个测试单元组;提供多个预测老化条件,将多个测试单元组分别置于多个预测老化条件下进行老化试验,预测老化条件包括多个老化加速因子,控制多个老化加速因子中的至少一个为变量以形成多个预测老化条件;确定每个预测老化条件下的测试单元组的最终老化时间;比较多个预测老化条件下的多个最终老化时间,确定多个最终老化时间中的最小老化时间;基于最小老化时间确定对应的预测老化条件为最终老化测试条件。根据本发明实施例的老化试验条件的确定方法,确定较优的最终老化试验条件并减少老化试验时长。
本发明授权老化试验条件的确定方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种老化试验条件的确定方法,其特征在于,包括: 提供待测晶圆,将所述待测晶圆划分为多个测试单元组; 提供多个预测老化条件,将所述多个测试单元组分别置于多个所述预测老化条件下进行老化试验,所述预测老化条件包括多个老化加速因子,控制多个所述老化加速因子中的至少一个为变量以形成多个所述预测老化条件; 确定每个所述预测老化条件下的所述测试单元组的最终老化时间; 比较多个所述预测老化条件下的多个最终老化时间,确定多个所述最终老化时间中的最小老化时间; 基于所述最小老化时间确定对应的所述预测老化条件为最终老化测试条件。
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