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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利脉冲激光沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116005115B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310090654.7，技术领域涉及：C23C14/28；该发明授权脉冲激光沉积设备是由龚文志;张晓军;夏慧;罗敏;宋魏设计研发完成，并于2023-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本脉冲激光沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了扫描式靶座装置以及脉冲激光沉积设备。其中，该扫描式靶座装置包括：第一传动单元，具有第一主体和呈空心状的安装筒，第一主体安装到镀膜室的外侧，安装筒相对第一主体可回转；第二传动单元，安装到安装筒，第二传动单元具有第二主体以及安装轴，安装轴相对第二主体可回转，安装轴设置有输入部以及输出部，输入部处在安装筒的外侧，输出部处在安装筒的内侧；支架，用于支撑靶材，安装到输出部，并设置在镀膜室内；第一驱动部，驱动第二传动单元回转，以使支架公转；第二驱动部，与输入部连接，并驱动安装轴回转，以使安装在安装轴的输出部的支架自转。本发明的扫描式靶座装置能够提高设备的稳定性。

本发明授权脉冲激光沉积设备在权利要求书中公布了：1.脉冲激光沉积设备，具有镀膜室以及扫描式靶座装置，所述扫描式靶座装置用于使所述镀膜室内的靶材公转以及自转，其特征在于，所述扫描式靶座装置包括： 第一传动单元，具有第一主体和呈空心状的安装筒，所述第一主体安装到所述镀膜室的外侧并和所述镀膜室之间被密封，所述安装筒相对所述第一主体可回转且所述安装筒和所述第一主体之间被密封； 第二传动单元，安装到所述安装筒，并且和所述安装筒之间被密封，所述第二传动单元具有第二主体以及安装轴，所述安装轴相对所述第二主体可回转且所述安装轴和所述第二主体之间被密封，所述安装轴的轴向的两端分别设置有输入部以及输出部，所述输入部处在所述安装筒的外侧，所述输出部处在所述安装筒的内侧； 支架，用于支撑所述靶材，安装到所述输出部，并设置在所述镀膜室内； 第一驱动部，与所述安装筒以及所述第二主体中的一者连接，驱动所述第二传动单元回转，以使所述支架随着所述第二传动单元的回转而公转； 第二驱动部，与所述输入部连接，并驱动所述安装轴回转，以使安装在所述安装轴的所述输出部的所述支架，随着所述安装轴的回转而自转； 所述安装筒的面向所述镀膜室的外侧的一端设置有安装座，所述第二传动单元以及所述第二驱动部分别安装到所述安装座，并随着安装筒相对所述第一主体回转而回转； 所述第二传动单元包括多个所述安装轴，各所述安装轴分别相对所述第二主体可回转且各所述安装轴和所述第二主体之间分别被密封； 所述扫描式靶座装置还包括第四传动单元，所述第四传动单元设置在所述镀膜室的外部，所述第二驱动部通过所述第四传动单元与各所述安装轴的所述输入部传动连接； 所述第二驱动部包括自转用驱动电机； 所述第四传动单元包括一个自转用主动齿轮以及多个自转用从动齿轮； 所述自转用主动齿轮与所述自转用驱动电机同轴连接； 所述自转用从动齿轮分别与各所述安装轴的所述输入部同轴连接； 所述自转用主动齿轮分别与各所述自转用从动齿轮啮合。

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