广东科视光学技术股份有限公司王华获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉广东科视光学技术股份有限公司申请的专利一种龙门双面光刻系统的曝光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116125753B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211207579.X,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种龙门双面光刻系统的曝光方法是由王华;陈志特;朱敏;甘泉;黄海浩设计研发完成,并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种龙门双面光刻系统的曝光方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种龙门双面光刻系统的曝光方法,包括以下步骤:组装好PCB组件,并将PCB组件放置到龙门式上平台;将龙门式上平台移动到CCD组件的位置处,通过上下两侧的对位相机对PCB板上下两面同时进行定位;将龙门式上平台移动到光刻组件的位置处,通过上下两侧的光刻镜头对PCB板上下两面同时进行光刻;光刻好的龙门式上平台上的PCB组件回复到原位置,待光刻的龙门式下平台上的PCB组件重复步骤1‑3进行光刻,本发明的光刻系统,只需要在设备的一侧增加一个工位即可,便可对两个平台进行交叉的光刻工作;以及分别设置上下两个的光刻组件和CCD组件,从而可以对PCB板同时进行两面光刻工作。
本发明授权一种龙门双面光刻系统的曝光方法在权利要求书中公布了:1.一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1:组装好PCB组件9,并将PCB组件9放置到龙门式上平台31; 步骤2:将龙门式上平台31移动到CCD组件的位置处,通过上下两侧的对位相机对PCB板91上下两面同时进行定位; 步骤3:将龙门式上平台31移动到光刻组件的位置处,通过上下两侧的光刻镜头对PCB板91上下两面同时进行光刻; 步骤4:光刻好的龙门式上平台31上的PCB组件9回复到原位置,待光刻的龙门式下平台41上的PCB组件9重复步骤1-3进行光刻; 在步骤2中,在移动龙门式上平台31和龙门式下平台41过程中,对位于龙门式上平台31和龙门式下平台41上的上玻璃板92进行压紧工作; 压紧工作具体过程如下: 首先运动到压紧机构10位置时,压紧板104与滑轮105接触,随着平台的移动,使得滑轮105沿着压紧板104的弧面,移动到压紧板104的底面上,从而将驱动立柱102向下移动,使得压紧辊103也将随着向下移动,并作用在PCB板组件9上进行压紧工作,随着平台移动使得压紧辊103对PCB板组件9进行全面压紧,最后随着平台移动,压紧板104将与滑轮105分离,压紧机构复位,等待对下一个PCB板组件9进行压紧工作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东科视光学技术股份有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励