西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司马科宁获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利抛光系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116175380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211664528.X,技术领域涉及:B24B29/02;该发明授权抛光系统是由马科宁设计研发完成,并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种抛光系统,包括:抛光设备,抛光设备包括抛光机构与搬运机构;转运机构,转运机构可拆卸地设置于抛光设备,转运机构用于转运容纳槽,搬运机构用于搬运转运机构上的容纳槽至抛光设备的卸载部,且搬运机构用于搬运放置于卸载部的容纳槽至清洗设备。通过转运机构将清洗机异常的抛光设备所抛光的硅片转运到抛光设备位置,通过搬运机构搬运转运机构的容纳槽至抛光设备的卸载部,通过搬运机构搬运放置于卸载部的容纳槽至清洗设备,使得清洗机异常的抛光设备所抛光的硅片转运到正常的清洗设备进行清洗,使得硅片尽快清洗,使清洗机异常的抛光设备可以正常生产,保证硅片的加工质量与效率,避免由于清洗机异常导致的生产产能降低。
本发明授权抛光系统在权利要求书中公布了:1.一种抛光系统,其特征在于,包括: 抛光设备,所述抛光设备包括抛光机构与搬运机构; 转运机构,所述转运机构可拆卸地设置于所述抛光设备,所述转运机构用于转运容纳槽,所述搬运机构用于搬运所述转运机构上的容纳槽至所述抛光设备的卸载部,且所述搬运机构用于搬运放置于所述卸载部的所述容纳槽中的硅片至清洗设备; 所述抛光设备上具有第一连接部,所述转运机构具有第二连接部,所述第一连接部与所述第二连接部可拆卸连接; 所述第一连接部包括连接管,所述第二连接部包括连接轴,所述连接轴可拆卸地插设在所述连接管;或者 所述第一连接部包括连接轴,所述第二连接部包括连接管,所述连接轴可拆卸地插设在所述连接管; 所述连接管上具有多个定位孔,多个所述定位孔沿所述连接管的长度方向间隔分布,所述定位孔与所述连接管的管腔连通,所述定位孔中设有可活动的定位销,在所述连接轴插设在所述连接管中的情况下,所述定位销可止抵或远离所述连接轴。
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