陕西光电子先导院科技有限公司刘阿娟获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西光电子先导院科技有限公司申请的专利用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116206953B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211487546.5，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法是由刘阿娟;侯鹏设计研发完成，并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法，包括在晶圆表面上包括凹槽内依次旋涂或喷涂第一层感光光刻胶、不感光的光刻胶和另一层感光光刻胶，共三层胶，之后再选择光刻板进行一次曝光，依次进行一次显影、溅射金属、超声波浸泡和剥离。本发明在光刻显影后，沟槽光刻胶可全部干净，沟槽外平台倒角横向长度可到1.1微米‑2.3微米左右，在后续溅射金属时满足倒角处无金属粘连，能够满足剥离的需求，达到易剥离且图形边缘没有残余金属的效果。
本发明授权用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法在权利要求书中公布了：1.用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1，选取高低不平刻蚀槽的晶圆1； 步骤2，在晶圆1表面上包括凹槽内旋涂或喷涂第一层感光光刻胶，进行软烤； 步骤3，在固化的第一层感光光刻胶上面旋涂或喷涂不感光光刻胶2，进行软烤； 步骤4，在固化的不感光光刻胶2上旋涂或喷涂第二层感光光刻胶，进行软烤； 步骤5，选择光刻板，在第二层感光光刻胶上进行一次曝光、一次显影； 步骤6，移走光刻板，向显影之后的晶圆1上溅射金属，使得晶圆1显影干净的图形区域得到相应的金属图形； 步骤7，采用有机溶液超声浸泡和剥离工艺，使得要剥离区域第一层感光光刻胶胶层、不感光光刻胶2胶层、第二层感光光刻胶胶层以及上层金属层5同时剥离。
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