同济大学张锦龙获国家专利权
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龙图腾网获悉同济大学申请的专利一种振动衰减式的薄膜机械损耗高效测量系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116539278B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310157729.9,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种振动衰减式的薄膜机械损耗高效测量系统及方法是由张锦龙;方圣欢;焦宏飞;程鑫彬;王占山设计研发完成,并于2023-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种振动衰减式的薄膜机械损耗高效测量系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种振动衰减式的薄膜机械损耗测量系统及方法,该系统包括:设置在真空腔内的节点悬架式支撑模块,用于为被测试件提供真空环境下的单点接触条件;振动激励模块,用于为被测试件提供设定频率的振动激励;光杠杆振动检测模块,用于发射激光至被测试件并检测反射的光斑以进行振动检测;数据采集与控制处理模块,用于对振动激励模块进行控制,并依据光杠杆振动检测模块获取到的光斑位置信息利用基于动态滞弹性行为的振动自由衰减原理,通过振幅衰减变化分析试件镀膜前后的机械损耗变化以提取薄膜机械损耗。与现有技术相比,本发明具有结构简单、接触损耗低、测量高效、测量精度高的优点。
本发明授权一种振动衰减式的薄膜机械损耗高效测量系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种振动衰减式的薄膜机械损耗测量系统,其特征在于,该系统包括: 设置在真空腔内的节点悬架式支撑模块,用于为被测试件4提供真空环境下的单点接触条件; 振动激励模块,用于为被测试件4提供设定频率的振动激励; 光杠杆振动检测模块,用于发射激光至被测试件4并检测反射的光斑以进行振动检测; 数据采集与控制处理模块,用于对振动激励模块进行控制,并依据光杠杆振动检测模块获取到的光斑位置信息利用基于动态滞弹性行为的振动自由衰减原理,通过振幅衰减变化分析试件镀膜前后的机械损耗变化以提取薄膜机械损耗; 所述节点悬架式支撑模块包括硅平凸透镜5、硅平凸透镜固定片8、硅平凸透镜支架9、装置底座11和底座垫高杆13; 所述硅平凸透镜5与硅平凸透镜支架9贴合接触后,通过硅平凸透镜固定片8固定;所述硅平凸透镜支架9与装置底座11连接,所述装置底座11通过底座垫高杆13固定在真空腔内; 所述被测试件4放置于硅平凸透镜5上,仅与所述硅平凸透镜5单点接触; 所述系统还设置有试件复接触模块,包括定心环6、定心环支架7、直线驱动器固定螺母10和直线驱动器12; 所述定心环6与定心环支架7固定连接后,固定在所述装置底座11; 所述直线驱动器12从装置底座11下方设有的中心孔贯穿并通过直线驱动器固定螺母10与装置底座11固定连接; 所述直线驱动器12的推杆与试件节点悬架式支撑模块固定连接,用于装载定位并平衡被测试件4,通过上下移动与碰撞在真空条件下进行被测试件4与节点悬架式支撑模块的重复接触、重复测量。
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