中国科学院电工研究所高远获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院电工研究所申请的专利一种可变式等离子体耦合结构的原位红外双观测型装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116559078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310523107.3,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种可变式等离子体耦合结构的原位红外双观测型装置及方法是由高远;邵涛;徐宇轩;李斌;窦立广设计研发完成,并于2023-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可变式等离子体耦合结构的原位红外双观测型装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种可变式等离子体耦合结构的原位红外双观测装置及方法,包括等离子体电源单元、供气与分离纯化单元、原位反应观测单元和信号采集控制单元4部分;其中原位反应观测腔体通过调控电极结构和电源参数实现多种放电模的引发和原位观测,同时获得稳态产物、瞬态气相物种和表面吸附物种的演化过程;腔体顶部高压电极经过绝缘介质隔离后与参数化脉冲电源直接连接,反应原料气经流量控制器后混合进入腔体,放电过程可控且稳定。本发明功能整合度高,可广泛用于等离子体技术主导的表面加工和催化反应过程,易于揭示目标产物高选择性生产路线并通过程控反馈实现工艺实时优化,在基础研究和工业应用上前景良好。
本发明授权一种可变式等离子体耦合结构的原位红外双观测型装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种可变式等离子体耦合结构的原位红外双观测型装置,其特征在于:包括等离子体电源单元、供气与分离纯化单元、原位反应观测单元和信号采集控制单元; 所述的等离子体电源单元包括多种等离子体电源、信号发生器和高压传输线; 所述的供气与分离纯化单元包括高压钢瓶、不锈钢管路、球阀、流量控制器、混合罐、气液分离器、气体储运罐、液体储运罐;所述高压钢瓶、球阀、流量控制器通过不锈钢管路连接,各路反应气进行定比配置后汇入混合罐后均匀输入原位反应观测单元的进气口组成供气系统;原位反应观测单元的出气口流出的气液混合产物经过低温环境的气液分离器后分别通过不锈钢管路导入至气体储运罐和液体储运罐,组成分离纯化系统; 所述的原位反应观测单元由原位反应观测腔体、发射光谱仪和红外光谱仪构成,其中原位反应观测腔体包括长方体型的金属腔体框架、绝缘贴附层、绝缘套管、可变式高压电极、密封法兰、石英法兰窗、红外法兰窗、红外反射镜、催化材料底座、红外凹面镜、电阻加热系统、水冷循环泵、真空泵、压力计、进出气口和进出水口;所述可变式的高压电极穿过绝缘套管后采用法兰结构密封固定,绝缘套管整体嵌入金属腔体框架的顶端并联通,金属腔体框架的其他开孔处依据光路设计安装红外法兰窗石英法兰窗,最后在金属腔体框架内表面的封闭处贴附绝缘贴附层后形成原位反应观测单元的腔体;可变式电极通过高压传输线与电源高压端相连作为阳极,催化剂底座接地作为阴极;气路进口直连混合罐,气路出口与真空泵连接,进出水口和水冷循环泵联通;基于腔体结构将原位反应观测腔体安置在外部光路上,与发射光谱仪组成原位反应观测单元; 所述的信号采集控制单元包括上位机和信号传输线,通过所述信号传输线,所述上位机与信号发生器、发射光谱仪、红外光谱仪、水冷循环泵、流量控制器、电阻加热系统通信连接; 所述高压电极由千分尺、不锈钢连杆、石英介质槽、不锈钢针型电极、不锈钢平板电极组成放电间隙可调的针板电极和板型介质阻挡电极;或为由T形石英管、钨针、金属卡箍、聚四氟紧固件和全氟密封圈构成的等离子体射流型结构; 所述催化材料底座为方形槽体和圆柱形支架组成的异形闭合结构,底座内有循环水冷通道并于底部引出循环水路的进口和出口;方形槽体与催化剂片接触底部由金属杆件直连至底部引出接地;圆柱形支架外侧缠绕有电阻加热和热电偶模块,控制器单独引出。
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