BENEQ有限公司佩卡·索恩宁获国家专利权
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龙图腾网获悉BENEQ有限公司申请的专利一种供气杯和气体歧管组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117120666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280025540.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种供气杯和气体歧管组件是由佩卡·索恩宁;约翰尼斯·韦斯林;乔纳斯·安德森设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种供气杯和气体歧管组件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种供气杯1，所述供气杯1可拆卸地设置在原子层沉积装置的固定气体歧管结构2中，并且包括：杯底10，包括穿过所述杯底10从杯底外表面11延伸到所述杯底10另一侧的杯底内表面12的供气通道13；以及杯壁20，围绕所述杯底10，并且在所述杯底10的内表面侧沿远离所述杯底10的方向相对于所述杯底10横向延伸，使得所述杯壁20和所述杯底内表面12形成供气空间30。
本发明授权一种供气杯和气体歧管组件在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积装置的供气杯1，其特征在于，所述供气杯1可拆卸地设置在所述原子层沉积装置的固定气体歧管结构2中，并且所述供气杯1包括： 杯底10，包括穿过所述杯底10从杯底外表面11延伸到所述杯底10另一侧的杯底内表面12的供气通道13； 杯壁20，围绕所述杯底10，并且在所述杯底10的内表面侧沿远离所述杯底10的方向相对于所述杯底10横向延伸，使得所述杯壁20和所述杯底内表面12形成供气空间30； 所述杯壁20在所述杯底10的外表面侧至少部分地沿远离所述杯底10的方向进一步延伸，使得在所述杯底10与所述供气空间30的相对侧形成凸缘40，以及 气体混合锥面33，所述气体混合锥面被设置在所述供气空间30中，所述气体混合锥面33被设置为与所述杯底内表面12相距一定距离，以在所述杯底内表面12与所述气体混合锥面33之间形成气体混合区34。
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