广东聚华印刷显示技术有限公司魏雄伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广东聚华印刷显示技术有限公司申请的专利一种蒸镀装置和蒸镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117127150B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210552453.X，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种蒸镀装置和蒸镀方法是由魏雄伟;李启立;董婷;付东设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸镀装置和蒸镀方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种蒸镀装置和蒸镀方法。本申请的蒸镀装置包括：壳体，壳体限定出蒸镀腔；蒸发源，蒸发源设置在所述蒸镀腔的底部；承载件，承载件设置在所述蒸镀腔的顶部，且与蒸发源相对设置，承载件用于承载待蒸镀基板；厚度调节组件，厚度调节组件设置在蒸发源与所述承载件之间，厚度调节组件包括调节杆以及设置在调节杆上的至少一个球状体，调节杆位于平行于待蒸镀基板的平面上；其中，调节杆以待蒸镀基板的垂直平分线为轴线进行周向转动；或者，调节杆沿所述待蒸镀基板的一端指向相对的另一端的方向上进行往复运动。通过在球状体周向运动或往复运动实现对球状体运动轨迹对应区域的蒸镀材料的遮挡，从而提高蒸镀形成薄膜的厚度均匀性。
本发明授权一种蒸镀装置和蒸镀方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括： 壳体，所述壳体限定出蒸镀腔； 蒸发源，所述蒸发源设置在所述蒸镀腔的底部，所述蒸发源包括多个子蒸发源，其中，所述多个子蒸发源依次间隔设置且呈环形；或者，所述多个子蒸发源依次间隔设置且呈线性排列； 承载件，所述承载件设置在所述蒸镀腔的顶部，且与所述蒸发源相对设置，所述承载件用于承载待蒸镀基板； 厚度调节组件，所述厚度调节组件设置在所述蒸发源与所述承载件之间，所述厚度调节组件包括调节杆以及设置在所述调节杆上的至少一个球状体，所述调节杆位于平行于所述待蒸镀基板的平面上，沿所述调节杆的中心朝所述调节杆任意一个端部的方向上，单位长度上所述球状体的数量逐渐减小； 其中，所述调节杆以所述待蒸镀基板的垂直平分线为轴线进行周向转动；或者，所述调节杆沿所述待蒸镀基板的一端指向相对的另一端的方向上进行往复运动。
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