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龙图腾网获悉晶澳(扬州)太阳能科技有限公司申请的专利一种单腔多层膜蒸镀系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117305772B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311228660.0，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种单腔多层膜蒸镀系统及方法是由卢林;秦怡;陈斌设计研发完成，并于2023-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单腔多层膜蒸镀系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种单腔多层膜蒸镀系统及方法，系统包括：上料台；上料缓存腔和上料台之间设置有第一门阀；工艺腔和上料缓存腔之间设置有第二门阀；蒸镀系统设置在工艺腔之外，且与工艺腔之间设置有第三门阀；下料缓存腔与工艺腔之间设置有第四门阀，工艺腔位于上料缓存腔和下料缓存腔之间；下料台与下料缓存腔之间设置有第五门阀；抽真空系统分别与上料缓存腔、工艺腔和下料缓存腔相连；运输载台承载待镀膜电池片依次流经上料台、上料缓存腔、工艺腔，并在工艺腔内经蒸镀系统蒸镀多层膜层后传送至下料缓存腔和下料台。本发明能够在单腔室内完成多层膜沉积，省去了多次抽真空、破真空的过程，大大缩短了产品制作的工艺时间，提高了产能。

本发明授权一种单腔多层膜蒸镀系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种单腔多层膜蒸镀系统，其特征在于，包括： 上料台10； 上料缓存腔20，所述上料缓存腔20和所述上料台10之间设置有第一门阀； 工艺腔30，所述工艺腔30和所述上料缓存腔20之间设置有第二门阀； 蒸镀系统40，所述蒸镀系统40设置在所述工艺腔30之外，且与所述工艺腔30之间设置有第三门阀； 下料缓存腔50，所述下料缓存腔50与所述工艺腔30之间设置有第四门阀，且所述工艺腔30位于所述上料缓存腔20和所述下料缓存腔50之间； 下料台60，所述下料台60与所述下料缓存腔50之间设置有第五门阀； 抽真空系统70，所述抽真空系统70分别与所述上料缓存腔20、所述工艺腔30和所述下料缓存腔50相连； 运输载台80，所述运输载台80承载待镀膜电池片依次流经所述上料台10、所述上料缓存腔20、所述工艺腔30，并在所述工艺腔30内经所述蒸镀系统40蒸镀多层膜层后传送至所述下料缓存腔50和所述下料台60； 其中，所述工艺腔30包括相互连通设置的工艺腔一31和工艺腔二32； 所述工艺腔一31和所述上料缓存腔20相连通，所述工艺腔一31用于供待镀膜电池片和所述运输载台80分离并进行蒸镀膜层处理； 所述工艺腔二32和所述下料缓存腔50相连通，所述工艺腔二32用于供所述运输载台80暂存； 所述工艺腔一31包括第一腔室311和与所述第一腔室311配合使用的第一腔盖312，所述第一腔盖312上设置有多组静电吸盘313以及控制所述静电吸盘313上下驱动的驱动电机314，所述静电吸盘313用于吸取所述运输载台80上的待镀膜电池片；所述第一腔室311的底部设置为镂空结构； 所述蒸镀系统40设置在所述工艺腔一31的第一腔室311底部镂空结构的下方，且所述第三门阀设置在所述工艺腔一31和所述蒸镀系统40之间。

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