拓荆科技(上海)有限公司谭华强获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117926218B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311747861.1，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统是由谭华强设计研发完成，并于2023-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，更具体地说，涉及一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统。本发明提供了一种液态源蒸发罐设备，包括蒸发罐罐体、补液组件以及超声发生器：所述蒸发罐罐体，内部存储液态化学源；所述补液组件，设置于所述蒸发罐罐体的底部，用于向蒸发罐罐体内部补液；所述超声发生器，设置在蒸发罐罐体的底部，对液态化学源进行超声振动，所述超声发生器的频率和功率可调。本发明提出了一种液态蒸发罐设备及液态化学源输送系统，提高单次工艺循环的生长膜厚及其稳定性，缩短了Dosing的时长，有助于稳定Dosing的工作条件，提升沉积工艺的稳定性，改善了设备的性能和产能。
本发明授权一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统在权利要求书中公布了：1.一种液态源蒸发罐设备，其特征在于，所述液态源蒸发罐设备用于ALD薄膜沉积系统，包括蒸发罐罐体、补液组件以及超声发生器： 所述蒸发罐罐体，内部存储液态化学源； 所述补液组件，设置于所述蒸发罐罐体的底部，用于向蒸发罐罐体内部补液； 所述超声发生器，设置在蒸发罐罐体的底部，对液态化学源进行超声振动，所述超声发生器的频率和功率可调； 所述补液组件，包括补液管道和加热装置： 所述补液管道，可通断地连接所述蒸发罐罐体底部，用于向蒸发罐罐内进行补液； 所述加热装置，设置于所述补液管道的下方，用于对所述补液管道内的液体以及蒸发罐罐体的底板进行加热； 其中，对所述蒸发罐罐内的单次补液量低于所述蒸发罐总容积的千分之一。
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