环晟光伏(江苏)有限公司杜文轩获国家专利权
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龙图腾网获悉环晟光伏(江苏)有限公司申请的专利ALD腔体多角度进气的薄膜沉积方法、Al2O3薄膜及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118374793B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410481552.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权ALD腔体多角度进气的薄膜沉积方法、Al2O3薄膜及应用是由杜文轩;伏进文;季勇健设计研发完成，并于2024-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本ALD腔体多角度进气的薄膜沉积方法、Al2O3薄膜及应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种ALD腔体多角度进气的薄膜沉积方法、Al2O3薄膜及应用，涉及原子层沉积ALD的技术领域，该薄膜沉积方法包括以下步骤：在沉积过程中，采用前进后出与上进下出的通气方式交替循环为ALD腔体供气以进行薄膜沉积，从而得到沉积薄膜。本发明解决了现有技术中的ALD设备进气方式所导致的薄膜沉积厚度均匀性较差的技术问题，达到了改善电池片上Al2O3薄膜沉积的厚度均匀性、使Al2O3薄膜更加致密、增强钝化效果，以及提升电池转换效率的技术效果。
本发明授权ALD腔体多角度进气的薄膜沉积方法、Al2O3薄膜及应用在权利要求书中公布了：1.一种ALD腔体多角度进气的薄膜沉积方法，其特征在于，包括以下步骤： 先将电池片送入ALD腔体，再采用前进后出的通气方式为ALD腔体供气以进行第一薄膜沉积，之后采用上进下出的通气方式为ALD腔体供气以进行第二薄膜沉积，然后将第一薄膜沉积和第二薄膜沉积的过程循环，从而在电池片上沉积形成薄膜； 其中，所述第一薄膜沉积的时长为3~10s；所述第二薄膜沉积的时长为3~10s；所述循环的总次数为20~35次； 其中，所述薄膜包括Al2O3薄膜； 其中，在进行第一薄膜沉积的过程中，供气的气体包括TMA与H2O； 其中，在进行第二薄膜沉积的过程中，供气的气体包括TMA与H2O。
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