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龙图腾网获悉鑫巨(深圳)半导体科技有限公司申请的专利一种半导体制程用磁悬浮输送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118545517B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410885328.X，技术领域涉及：B65G54/02；该发明授权一种半导体制程用磁悬浮输送系统是由马库斯·郎;马丁·施莱;吴国明;黄新国;陈琳设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体制程用磁悬浮输送系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体生产设备技术领域，具体涉及一种半导体制程用磁悬浮输送系统，包括输送轨道总成、悬挂载具以及上料装置，所述输送轨道总成包括x向输送轨道以及y向输送轨道，用于工件在不同方向上的往复输送，通过采用非接触式磁悬浮输送结构作为输送轨道结构，可以带动工件在x轴方向以及y轴方向上的往复移动，在不同加工工艺的加工工位之间进行往复输送，操作更加方便，输送效率高；避免传统的输送组件因摩擦造成的碎屑或颗粒物对制程空间和设备使用寿命以及半导体加工良率的不良影响；同时还可以保证半导体生产的无尘化洁净空间，降低维护成本。

本发明授权一种半导体制程用磁悬浮输送系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程用磁悬浮输送系统，其特征在于，包括输送轨道总成、悬挂载具1以及上料装置，所述输送轨道总成包括x向输送轨道2以及y向输送轨道3，用于工件在不同方向上的往复输送，所述x向输送轨道2、y向输送轨道3均设置为非接触式的磁悬浮输送结构，所述悬挂载具1设置在x向输送轨道上，用于承载工件夹具11，所述悬挂载具1包括载具本体101以及悬挂架102，所述载具本体101固定设置在动子组件6上，所述悬挂架102对称设置在载具本体101的两端，所述悬挂架102上均设置有置物槽104，所述置物槽104与工件夹具11顶端相适配；所述上料装置设置在y向输送轨道3上，用于工件夹具11在z轴方向上的往复运动；位于端部的两个y向输送轨道3之间还设置有工件缓存区12，用于工件上料后工件夹具11的暂时存放；所述上料装置包括升降悬臂9，所述升降悬臂9上设置有导向槽91，所述工件夹具11顶端设置有支撑杆111，所述支撑杆111底端面上设置有导向杆112，所述导向杆112与导向槽91结构相适配。

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