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华中科技大学杨浩明获国家专利权

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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119086459B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411183820.9,技术领域涉及:G01N21/21;该发明授权一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法是由杨浩明;王可嘉设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法,属于椭偏测量技术领域。一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪,起偏支架和检偏支架均与竖直方向的夹角为θ0度;起偏支架上依次设置逐渐靠近样品放置台的太赫兹发射源、第一准直透镜、第一中空旋转电机和第一聚焦透镜;检偏支架上依次设置逐渐远离样品放置台的第二准直透镜、第二中空旋转电机、第二聚焦透镜和太赫兹探测器;第一波片和第二波片均为单频四分之一波片,分别固定设置在对应的中空旋转电机中;信号采集处理系统记录太赫兹探测器接收的不同角度下的光强信号,并根据多组光强信号数据得到待测薄膜样品的穆勒矩阵,反演得到待测薄膜样品的厚度和折射率。

本发明授权一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法在权利要求书中公布了:1.一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪,其特征在于,包括: 起偏支架和检偏支架;所述起偏支架和检偏支架均与竖直方向的夹角为θ0度; 水平放置于所述起偏支架和检偏支架之间的样品放置台; 沿所述起偏支架设置且逐渐靠近样品放置台的太赫兹发射源、第一准直透镜、第一中空旋转电机和第一聚焦透镜; 第一波片,为单频四分之一波片,且固定设置在第一中空旋转电机中; 沿所述检偏支架设置逐渐远离样品放置台的第二准直透镜、第二中空旋转电机、第二聚焦透镜和太赫兹探测器; 第二波片,为单频四分之一波片,且固定设置在第二中空旋转电机中; 与所述第一中空旋转电机和所述第二中空旋转电机均相连的电机控制器,用于同时控制第一中空旋转电机和第二中空旋转电机的旋转角度; 以及与所述太赫兹探测器相连的信号采集处理系统; 工作时,太赫兹发射源发射的太赫兹线偏振波束,由所述第一准直透镜准直,经过第一中空旋转电机中的第一波片后改变偏振态,经过第一聚焦透镜汇聚到样品放置台上的待测薄膜样品并被反射;反射后,太赫兹波束的偏振态发生变化;反射后的太赫兹波束经过所述第二准直透镜准直,经过第二中空旋转电机中的第二波片后再次改变偏振态,经过第二聚焦透镜汇聚后被太赫兹探测器接收;信号采集处理系统通过所述太赫兹探测器接收不同角度下的光强信号,并根据多组光强信号数据得到待测薄膜样品的穆勒矩阵,反演得到待测薄膜样品的厚度和折射率。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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