西安电子科技大学周弘获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利基于NiOx/Ga2O3的双异质结增强型平面栅垂直双极晶体管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119153502B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411267998.1,技术领域涉及:H10D10/80;该发明授权基于NiOx/Ga2O3的双异质结增强型平面栅垂直双极晶体管是由周弘;岳红庆;张进成;郝跃设计研发完成,并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于NiOx/Ga2O3的双异质结增强型平面栅垂直双极晶体管在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于NiOxGa2O3双异质结增强型平面栅垂直双极晶体管,主要解决现有技术不能实现增强型,反向耐压能力差的问题。其自下而上包括漏电极、衬底、漂移区、p型导电层、栅电极,形成平面栅结构;该漂移区上方两侧为电流阻挡层,p型导电层两侧为欧姆接触层,栅电极两侧为源电极,其中衬底和欧姆接触层均为高掺氧化镓,漂移区为低掺氧化镓,电流阻挡层为高电阻率氧化镓,p型导电层为p型NiOx;该p型NiOx分别与欧姆接触层和漂移区接触形成第一异质结J1和第二异质结J2。本发明利用平面栅结构及双异质结J1和J2能够显著提高器件的耐压能力,实现器件的增强型,增大器件的安全工作区范围,可用于制备大功率氧化镓晶体管。
本发明授权基于NiOx/Ga2O3的双异质结增强型平面栅垂直双极晶体管在权利要求书中公布了:1.一种基于NiOxGa2O3的双异质结增强型平面栅垂直双极晶体管,包括衬底1,漂移区2,电流阻挡层3,欧姆接触层4,p型导电层5,漏电极6,源电极7和栅电极8其特征在于: 所述电流阻挡层3采用高电阻率Ga2O3材料,其分布在漂移区2上方的左右两侧,以阻断电流的流通,控制电流的流通路径; 所述欧姆接触层4采用高掺杂的n型Ga2O3材料,以与源电极7形成良好的欧姆接触,其位于分布在两侧电流阻挡层3的上方; 所述p型导电层5采用p型导电材料,位于漂移区2中间的上方,其左右两侧与分布在两侧的欧姆接触层4接触形成第一异质pn结J1,下方与漂移区接触形成第二异质pn结J2下方与漂移区接触形成第二异质pn结J2,以提高器件的反向耐压能力,并通过这两个异质pn结控制电子从源电极到漏电极的流通,实现器件的增强型工作状态; 所述栅电极8位于p型导电层5的上方,形成从上面直接控制p型导电层导通的平面栅结构,以增大安全工作区范围,简化器件制备工艺。
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