中国南方电网有限责任公司陈小瓦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国南方电网有限责任公司申请的专利MEMS电容式压力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119197864B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411409458.2，技术领域涉及：G01L9/00；该发明授权MEMS电容式压力传感器及其制备方法是由陈小瓦;徐振恒;吕前程;董飞龙;赵雅茜;张伟勋;孙铁鹏设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS电容式压力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种MEMS电容式压力传感器及其制备方法，涉及微电子技术领域；压力传感器包括导电衬底；沿导电衬底所在平面方向上，压力传感器包括空腔区和环绕空腔区的边缘区；第一电极层，形成于导电衬底的表面，位于空腔区；第一电极层包括多个绝缘设置的环形第一电极；压力应变膜片，位于第一电极层远离导电衬底的一侧；第二电极层，形成于压力应变膜片朝向第一电极层的一侧，位于空腔区；第二电极层包括多个绝缘设置的环形第二电极；绝缘层，形成于导电衬底和压力应变膜片之间，位于边缘区；沿导电衬底所在平面中的中心点指向边缘区的方向上，第一电极和第二电极交替且间隔设置；有利于避免压力传感器使用时第一电极和第二电极误接触的问题。
本发明授权MEMS电容式压力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS电容式压力传感器，其特征在于，包括： 导电衬底；沿所述导电衬底所在平面的方向上，所述压力传感器包括空腔区和环绕所述空腔区的边缘区； 第一电极层，形成于所述导电衬底的一侧表面，且位于所述空腔区；所述第一电极层包括多个绝缘设置的环形第一电极； 压力应变膜片，位于所述第一电极层远离所述导电衬底的一侧； 第二电极层，形成于所述压力应变膜片朝向所述第一电极层的一侧，且位于所述空腔区；所述第二电极层包括多个绝缘设置的环形第二电极； 绝缘层，形成于所述导电衬底和所述压力应变膜片之间，且位于所述边缘区； 沿所述导电衬底所在平面中的中心点指向所述边缘区的方向上，所述第一电极和所述第二电极交替且间隔设置；所述第一电极和所述第二电极在所述导电衬底所在平面的投影不重叠，且投影间隙大于0。
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