北京市科学技术研究院欧伊翔获国家专利权
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龙图腾网获悉北京市科学技术研究院申请的专利一种Cr/CrN/WC/C纳米涂层及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119287325B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411405481.4,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种Cr/CrN/WC/C纳米涂层及其制备方法和应用是由欧伊翔;酆毅;王浩琦;吴小盼;候莉;王连才设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Cr/CrN/WC/C纳米涂层及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于精加工技术领域,提供了一种CrCrNWCC纳米涂层及其制备方法和应用,该纳米涂层为高强韧性无氢碳基纳米涂层。其中,结合力层为金属Cr层,选用耐温的Cr作为结合力层,厚度控制在200~500nm,在保证优异结合性能的前提下,实现宽温域结合强度设计。CrN作为梯度过渡层,厚度控制在300~500nm,采用高功率磁控溅射离子增强复合沉积技术可以在Cr结合力层上连续的生长致密的CrN,同时力学性能保持梯度的升高,结构上能保持连续致密的生长,抗氧化的性能比Cr层要好。WC层为涂层的高强韧性层,厚度控制在600~1500nm,能提升整个涂层的强韧性;C层发挥机械润滑作用。
本发明授权一种Cr/CrN/WC/C纳米涂层及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种CrCrNWCC纳米涂层的制备方法,其特征在于,包含下列步骤: 1使用Cr靶材对基片进行活化和脉冲磁控溅射,形成Cr金属结合力层; 2使用Cr靶材在Cr金属结合力层表面进行脉冲磁控溅射,形成CrN纳米复合涂层; 3使用WC靶材和C靶材在CrN纳米复合涂层表面进行脉冲磁控溅射,形成WC纳米涂层; 4使用C靶材在WC纳米涂层表面进行脉冲磁控溅射形成C涂层,即得所述CrCrNWCC纳米涂层; 步骤2中所述脉冲磁控溅射的微脉冲参数为2~40μs,平均功率为2~10kW,气压为0.8~2Pa,氩气流量为100~130sccm,氮气流量为30~120sccm,偏压为-60~-150V; 步骤3中使用WC靶材的脉冲磁控溅射的微脉冲参数为6~30μs,平均功率为6~10kW; 步骤3中使用C靶材的脉冲磁控溅射的脉冲直流电源参数为80~120kHz,平均功率为0.4~8kW; 步骤3中所述脉冲磁控溅射的气压为0.6~2Pa,氩气流量为100~130sccm,氮气流量为100~130sccm,偏压为-60~-300V; 步骤4中所述脉冲磁控溅射的微脉冲参数为2~40μs,平均功率为2~10kW,气压为0.8~2Pa,氩气流量为100~130sccm,偏压为-60~-150V,时间为30~60min。
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