颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司张贤亮获国家专利权
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龙图腾网获悉颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利晶圆烘烤装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119468672B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411455301.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆烘烤装置是由张贤亮;郭振;王小锋设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆烘烤装置在说明书摘要公布了：本发明揭示了一种晶圆烘烤装置包括第一壳体、沿其高度方向依次设置于第一壳体的加热机构、导流盘以及分流板，所述导流盘具有沿高度方向贯穿的通风口，所述晶圆烘烤装置包括位于所述加热机构和导流盘之间的加热空间、位于所述导流盘和分流板之间的分流空间以及连通所述分流空间的液气分离管路，所述通风口连通所述加热空间和分流空间；有利于及时排出气态溶剂，并进行液气分离收集，降低厂务后期处理成本。
本发明授权晶圆烘烤装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘烤装置，包括第一壳体、沿其高度方向依次设置于第一壳体的加热机构、导流盘以及分流板，所述导流盘具有沿高度方向贯穿的通风口，所述晶圆烘烤装置包括位于所述加热机构和导流盘之间的加热空间、位于所述导流盘和分流板之间的分流空间以及连通所述分流空间的液气分离管路，所述通风口连通所述加热空间和分流空间； 所述导流盘的通风口设置于其中心处，所述导流盘包括位于其通风口与其外周缘之间的导流坡，所述导流盘的通风口高于其外周缘； 所述分流板的外周缘抵接于壳体的内壁面，所述分流板的中间高外周缘低； 所述液气分流管路包括第一进气口，所述导流盘包括设置于其外周缘的避让缺口，所述第一进气口连通所述避让缺口从而连通所述分流空间。
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